传感器技术 第6讲 压电磁敏传感器幻灯片.ppt

第6章 压电磁敏传感技术 6.1.1 压电效应和压电材料 1、正压电效应 某些晶体结构的材料，当沿着一定方向受到外力作用时，内部产生极化现象，同时在晶体的某两个表面上产生符号相反的电荷；当外力去掉后，又恢复到不带电的状态。这一现象称为“正压电效应”。 2、逆压电效应 当在电介质的极化方向施加电场，电介质也会产生几何变形，这种现象称为“逆压电效应”。 3、压电材料 可分为压电晶体、压电陶瓷和有机压电材料。 压电晶体是一种天然单晶体，例如石英晶体、酒石酸钾钠等；压电陶瓷是一种人工合成的多晶体，例如钛酸钡、锆钛酸铅等；有机压电材料是近些年来研制成的有机高分子聚合材料。 压电材料的主要特性参数以下几种： 压电常数、弹性常数、介电常数、机械耦合系数、电阻、居里点。 4、 石英晶体 石英晶体是单晶体，有电轴x、机械轴y、光轴z轴。沿z轴方向受力不会产生压电效应。 从晶体上沿y轴方向切下一块晶体，晶体上产生电荷的极性与受力的方向有关。若在x轴方向施加作用力，则在加压的两表面上分别出现正、负电荷。若在y轴上施加压力时，则在加压的表面上不出现电荷，电荷仍出现在垂直于x轴的表面上，只是电荷的极性相反。 5、 压电陶瓷（多晶体） 压电陶瓷是一种人工合成的多晶体压电材料。原始的压电陶瓷不具有压电性质。 当在陶瓷上施加外电场时，材料整体得到极化。外电场越强，极化程度越高，让外电场强度大到使材料的极化达到饱和程度，这时的材料就具有了压电特性。 压电陶瓷的压电系数比石英晶体大得多，因此用它制成的传感器灵敏度较高，但稳定性、机械强度等不如石英晶体。 压电陶瓷材料有多种，最早的是钛酸钡（BaTiO3），现在最常用的是锆钛酸铅（PbZrO3-PbTiO3），简称PZT等。 6.1.2 压电式传感器及测量电路 1、 压电式传感器 压电传感器中的压电元件无论是石英晶体还是压电陶瓷，它的内阻都很高，而输出的信号很微弱。其元件可等效为一个电容器Ca，正、负电荷积聚的两个表面相当于电容器的两个极板，板间的物质相当于一种介质。 在实际使用中，压电式传感器总是与测量仪器或测量电路相连接，压电传感器在测量系统中的实际等效电路如下图所示。 2、 测量电路 电荷放大器 Ci为传感器、连接电缆、放大器的输入等效电容合并的电容，Cf为放大器的反馈电容，Rf的作用是稳定直流工作点，减小零点漂移，一般取Rf≥10?。 由于放大器的输入阻抗很高，其输入端几乎没有分流，输出电压为 上式表明： （1）放大器的输出电压接近于反馈电容两端的电压。电荷Q只对反馈电容充电。 （2）电荷放大器的输出电压与电缆电容无关，而与Q成正比，这是电荷放大器的突出优点。由于Q与被测压力成线性关系，所以，输出电压也与被测压力成线性关系。 电压放大器 如果压电元件受到交变力f = Fmsin??t的作用，则其产生的电压为 所以适合于动态测量。 为了提高灵敏度，在使用中常把几片同型号的压电元件粘结在一起，两个压电元件的组合形式有①并联接法，电容量也增加一倍，输出电压与单个压电元件相同。②串接形式，其输出的电荷量与单个压电元件的相同，输出电压增大增大一倍。 6.1.3 压电式传感器的应用 1 压电式测力传感器 组成： 主要由石英晶片、绝缘套、电极、上盖和基座等组成。 2、原理 传感器的上盖为传力元件，当受到外力作用时，它将产生弹性形变，将力传递到石英晶片上，利用石英晶片的压电效应实现力—电转换。绝缘套用于绝缘和定位。 它的测力范围是0～50N，最小分辨率为0.01N，绝缘阻抗为 ，固有频率为50～60kHz。非线性误差小于±1%。整个该传感器重为10g，可用于机床动态切削力的测量。 6.1.3 压电式加速度传感器 1、组成 主要由压电元件、质量块、预压弹簧、基座及外壳等组成。压电元件一般由两片压电片组成，在两个压电片的表面镀上一层银，并在银层上焊接输出引线，在压电片上放置一个比重较大的质量块，然后对质量块预加载荷。 2、原理 测量时，将传感器基座与试件刚性固定在一起。当传感器与被测物体一起受到冲击振动时，质量块与传感器基座感受到相同的振动，并受到与加速度方向相反的