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第6章 电感式传感器 6.1 电感式传感器 6.2 差动变压器式电感传感器 6.3 电涡流式传感器 6.4 电感式传感器的应用 电感式传感器是利用电磁感应原理，将被测的物理量如位移、压力、流量、振动等转换成线圈的自感系数L或互感系数M的变化，再由测量电路转换为电压或电流的变化量输出，实现由非电量到电量转换的装置。 将非电量转换成自感系数变化的传感器通常称为自感式传感器（又称电感式传感器），而将非电量转换成互感系数变化的传感器通常称为互感式传感器（又称差动变压器式传感器）。 6.1 电感式传感器 6.1.1 电感传感器的工作原理和等效电路 1．工作原理 电感传感器有衔铁、铁芯和匝数为W的线圈三部分构成。传感器测量物理量时衔铁的运动部分产生位移，导致线圈的电感值发生变化，根据定义，线圈的电感为 式中 RM——磁阻，它包括铁芯磁阻和空气隙的磁阻，即 ——铁磁材料各段的磁阻之和，当铁芯一定时，其值为一定； li ——各段铁芯长度； mi ——各段铁芯的磁导率； Si ——各段铁芯的截面积； Rd ——空气隙的磁阻，Rd = 2d/m0S。S为空气隙截面积，d为空气隙长度，m0为空气的磁导率。 即可得电感为 因为铁芯由铁磁材料制成，其磁阻与气隙磁阻相比很小，上式分母中右边第一项可忽略。这时有 由上式可知，当线圈及铁芯一定时，W为常数，如果改变d或S时，L值就会引起相应的变化。电感传感器就是利用这一原理做成的。最常用的是变气隙长度d的电感传感器。由于改变d和S都是使气隙磁阻变化，从而使电感发生变化，所以这种传感器也叫变磁阻式传感器。 2、等效电路 电感传感器是一个带铁芯的可变电感，由于线圈的铜耗、铁芯的涡流损耗、磁滞损耗以及分布电容的影响，它并非呈现纯电感。 等效电路如图所示，其中L为电感，Rc为铜损电阻，Re为电涡流损耗电阻， Rh为磁滞损耗电阻，C为传感器等效电路的等效电容。等效电容C主要是由线圈绕组的固有电容和电缆分布电容引起。电缆长度的变化，将引起C的变化。当电感传感器确定后，这些参数即为已知量。 当考虑并联分布电容时，阻抗为Zs 当电感传感器 Q值高时，即1/Q2《1，则上式可变为 考虑分布电容时，电感传感器的有效串联电阻和有效电感都增加了，而线圈的有效品质因数却减小。 电感传感器有效灵敏度为 考虑分布电容后，电感传感器的灵敏度增加了。因此，必须根据测试时所用电缆长度对传感器进行标定，或者相应调整并联电容。 6.1.2 自感式传感器的结构类型及特性 常见的自感式传感器有变间隙式、变面积式和螺线管式三类。 1、变间隙式电感传感器 若使得衔铁向上移动取为- D d ，得此时电感为 则电感增量为 线圈电感的相对变化量为 若D d／d0＜＜l，则可得 同理可得当衔铁向下移动时的D L／L0为 由上式可见，线圈电感与气隙长度的关系为非线性关系，非线性度随气隙变化量的增大而增大，只有当Δd 很小时，忽略高次项的存在，可得近似的线性关系（这里未考虑漏磁的影响）。所以，单边变间隙式电感传感器存在线性度要求与测量范围要求的矛盾。 电感L与气隙长度d 的关系如图所示。它是一条双曲线，所以非线性是较严重的。为了得到一定的线性度，一般取D d/d0=0.1～0.2。 差动式变间隙电感传感器，要求上、下两铁芯和线圈的几何尺寸与电气参数完全对称，当衔铁偏离对称位置移动时，使一边间隙增大，而另一边减小，两个线圈电感的总变化量为 忽略高次项，其电感的变化量为 可见，差动式的灵敏度比单边式的增加了近一倍，而且差动式的（D L1+ D L2）／L0式中不包含（D d／d0）的偶次项，所以在相同的（D d／d0）下，其非线性误差比单边的要小得多。所以，实用中经常采用差动式结构。差动变间隙电感传感器的线性工作范围一般取D d／d0 = 0.3～0.4。 2、变面积式电感传感器 对单边式结构，在起始状态时，铁芯与衔铁在