RENA清洗设备操作规全解.ppt

RENA清洗设备操作规程 确认外围电力供应到位后，将电力控制柜前的红色送电旋钮从OFF旋到ON 设备供电后再在将冷却器的旋钮开关从OFF旋到ON 确认所有红色急停按钮拉出后到设备前方操作区域将显示器下方的绿色ON按钮按下 用钥匙打开显示器后面的门，将显示器电源开关POWER打开 计算机系统启动后将自动进入生产操作界面，点击Login 进入登陆界面，输入用户名及密码，点击ok 进入,确认界面各模块单元上方显示黄色“Manual”状态，且滚轮显示蓝色即滚动状态 确认监测屏幕上显示各模块溶液均满槽（即Full DI、Full Chem)和设备门窗均关闭。Etch Bath 显示 Not Ready，Dryer1 Dryer2 显示 Ready 确认各模块有无报警信息，若有任何异常，通知当班工艺工程师和设备工程师 点击Manual 按钮 进入Drives 菜单 点击All Conveyor，点击Stop 停止滚轮，点F10 退回主界面。 点击Mode Auto 按钮，设备进入自动模式，在界面上所有操作单元下方从黄色“Manual”转变成绿色“Auto” 设备将自动开始从Tank 中向Etch bath 添加腐蚀液，界面上Etch bath 单元下方显示为黄色“Filling chemie”和黄色“not ready”,等待Etch bath 添加完成，等待碱槽和酸槽温度显示稳定，下方显示为绿色“Full chemie”和绿色“Ready”。随后点击“start”按钮各模块自动运行。界面显示各模块均为绿色“Ready”和绿色＂in process＂．即设备进入正常生产状态 关机步骤 确认各模块均停止工作，点击“Mode manual”按钮进入手动模式点击manual 进入Drives 菜单点击All Conveyor，点击Start 启动滚轮，点击F10 退回主界面 进入“Manual”选单中“Etch bath” 点击“Drain Bath”,即把Etch bath 中的反应液排到Tank内，点击F10 退回主菜单，确认Etch Bath 模块显示黄色＂not ready和黄色＂draining。等待Etch bath 排液完成，在Etch bath 模块上只显示为黄色“not ready”，表明液体排完 用水枪冲洗KOH 的喷淋管和槽体，并清洁设备表面 检查各门的位置，正确地调整好它们 击右上角的“Log off”，跳出一个对话框。点击对话框中“Log off”，门将被密封。若生产区域的门未正确地调整好位置，Alert 警报会出现。再次登录，调整好门的位置，按F1 消除警报，再登出 关掉设备的显示器，关闭电力控制柜电源开关 生产准备 穿上工作服，戴上PVC/昵绒手套，清洗操作人员需要戴上安全眼镜、防护面具、防酸碱围裙、长袖防酸手套 确保手套没有粘有油脂性物质，严禁直接接触硅片的正反面，只允许接触硅片的两侧，在插片过程。中禁止用手套接触皮肤，如接触过皮肤、头发或者是带有油脂的物品，请更换手套 确认厂务配套各项目是否正常 药液更换 蚀刻槽（etch bath） 选择菜单Manual，然后点击etch bath 在确定需要更换药液后点击屏幕左边操作菜单上的BATH CHANGE，系统将自动将液体排空，再依工艺设定的清洗次数进行槽和罐的清洗，最后按照工艺设定补充相应量的药液到储液罐内，至此蚀刻槽的换药结束 碱洗槽（alkaline bath） 先确认机器处于手动状态，点击控制面板上的Manual Mode 选择菜单Manual,然后点击alkaline 按下draining将碱槽的化学品排掉，等待直到图表显示为“Empty”(黄色) 碱槽的冲洗，按下“ rinsing” 冲洗(屏幕的左边)。碱槽将充满水和开始循环。可通过程序设定冲洗次数。清洗完成之后，系统自动将水排掉，碱槽内状态保持空的 在排空槽内液体并清洗完毕后按下filling chemie,系统将按工艺设定配比容积加入药液 酸洗槽（acidic bath） 先确认机器处于手动状态，点击控制面板上的Manual Mode 选择菜单Manual，然后点击acidic 按下draining将酸槽的化学品排掉，等待直到图表显示为“Empty”(黄色) 酸槽的冲洗，按下“ rinsing” 冲洗(屏幕的左边)。酸槽将充满水和开始循环。可通过程序设定冲洗次数。清洗完成之后，系统自动将水排掉，酸槽内状态保持空的 在排空槽内液体并清洗完毕后按下filling chemie,系统将按工艺设定配比容积加入药液 其他要求 在正常生产过程中，不要出现半小时的停产。若出现停产半小时以上情况 ，请将刻蚀槽溶液排至