光栅CCD光纤传感器.pptVIP

7.3 光栅传感器 莫尔条纹形成的原理 莫尔条纹技术的特点 （1）调整夹角即可得到很大的莫尔条纹的宽度，起到了放大作用，又提高了测量精度。 （2）莫尔条纹的光强度变化近似正弦变化，便于将电信号作进一步细分，即采用“倍频技术”。这样可以提高测量精度或可以采用较粗的光栅。 （3）光电元件对于光栅刻线的误差起到了平均作用。刻线的局部误差和周期误差对于精度没有直接的影响。因此可得到比光栅本身的刻线精度高的测量精度。这是用光栅测量和普通标尺测量的主要差别。 光栅位移传感器 线性位移传感器。根据主光栅尺与指示光栅之间的相对运动产生莫尔条纹移动，通过计算莫尔条纹数测量位移，精度高，用于自控机床及作长度减量标准。 7.4 电荷耦合器件 在MOS电容金属电极上，加以脉冲电压，排斥掉半导体衬底内的多数载流子，形成“势阱”的运动，进而达到信号电荷（少数载流子）的转移。 图像传感器：转移的信号电荷是由光线照射产生； 若所转移的电荷通过外界诸如方式得到，则其可以具备延时、信号处理、数据存储以及逻辑运算等功能。 7.4.2 CCD图像传感器 利用CCD的光电转移和电荷转移的双重功能，得到幅度与各光生电荷包成正比的电脉冲序列，从而将照射在CCD上的光学图像转移成了电信号“图像”。 由于CCD能实现低噪声的电荷转移，并且所有光生电荷都通过一个输出电路检测，且具有良好的—致性，因此，对图像的传感具有优