光电测量系统设计..docVIP

光电测量系统设计 ----基于干涉方法测量压电陶瓷微小伸长量 指导老师： 朱海东 樊敏 姓名： 陈权 学号： 2013031053 班级： 电科132班 时间： 2016年11月 7 日  摘 要 本次实验为光电测量系统设计，从而测量压电陶瓷由于加热而产生的微小形变量，故需要掌握干涉和衍射的基本原理和产生条件，结合相关仪器软件完成对光电探测器的设计。首先是对通过杨氏双缝干涉，夫琅禾费衍射，PSD微小位移测量实验对理论知识的补充和了解，并对测量系统的搭建有一个大概的构思。然后在机房通过仿真软件ZMAX完成扩束准直系统的设计，ZW CAD绘制出探测器的光学结构（探头主体、底座、支杆等）；最后，进行了光纤端面处理和光纤传感综合实验。 关键词：光电测量系统；干涉；衍射；探测器；光纤实验 目 录 论文总页数：11页 1. 简介 1 1.1. 实验目的及内容 1 2. 干涉及衍射原理 1 2.1. 干涉 1 2.1.1. 干涉原理 1 2.1.2. 干涉条件 2 2.1.3. 实现光束干涉的基本方法 2 2.2. 衍射 2 2.2.1. 衍射原理 2 2.2.2. 衍射分类 2 3. 干涉仪 2 4. 整体结构 3 5. 上机 4 5.1. ZMAX仿真设计 4 5.1.1. 单透镜 4 5.1.2. 双透镜 5 5.1