真空获得和真空镀膜_张中月全解.ppt

真空与薄膜技术 真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的薄膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。因此真空镀膜技术被誉为最具有发展前途的重要技术之一，并已在高技术产业化的发展中展现出有人的市场前景。 要注意：溅射离子泵要在10-1Pa左右压力下启动。如果在低真空下长时间使用，会因离子流过大而使泵发热，导致吸附气体的解吸，甚至导致极间辉光放电和系统的压力升高，严重时还会影响泵的正常工作。另外，溅射离子泵对油蒸汽的污染很敏感，连续抽油蒸汽30min会使泵启动困难。 性能参数：极限真空度、抽气速率和返油率 在喷口处，油蒸汽速率可表示为： 式中，M是油蒸汽分子量。 由此，按照扩散理论推导出的扩散泵的极限压强为： Pf是前级真空压强； n是油蒸汽分子密度； L是蒸汽流扩散长度； 扩散泵的极限压强： ?配备性能良好的前级真空泵对于提高扩散泵的极限真空度是至关重要的。 ?扩散泵的极限真空还取决于扩散泵油的性质。对于同一个扩散泵，使用3号扩散泵油（石油烃），极限真空为10-5Pa。如改用275号硅油，则可达10-7Pa！可见选择泵油的重要性。 几个注意事项： 第一，在扩散泵工作过程中，油蒸汽会向被抽容器返流。这不仅影响系统极限真空，还会玷污真空容器壁，影响薄膜质量。因此，要在进气口出安上冷冻挡板或液氮冷阱，以减少返油，获得10-8∽10-9Pa的超高真空。 第二，扩散泵不能单独工作，一定要用机械泵做前级泵，并使系统抽到10-1Pa量级时才能启动扩散泵。否则会引起泵油的氧化！ 第三，牢记先通冷却水，后加热。结束时则应先停止加热，冷却一段时间后才能关闭。 第三节 分子泵 通过高速旋转的涡轮叶片，不断对气体分子施以定向的动量和压缩作用而获得高真空、超高真空的一种机械真空泵。 1.动片 2.定片 3.进气口 4.轴 5.轴承 6.排气口 ?理想泵的抽速不可能达到：实际上不可能制成能使气体分子永久地停留的理想表面。 ?液氮冷却的表面可以近似为理想表面，能够制成冷凝抽气泵，冷凝容易凝结的气体，但是不能冷凝He、H2和Ne等不易凝结的气体。 ?正确的选择泵或泵组的类型，达到需要的 极限压强，是真空系统制造的基本问题。 第五节 真空系统内的气体源 ?经容器壁的泄漏 ?虚漏 ?蒸发 ?表面出气 ?体出气 ?渗透 ?分解 真空系统内的气体源 ?高能粒子轰击出气 5.1 经容器壁的泄漏 大多数固体材料在没有缺陷时是不会漏气的，漏孔往往出现在两块不同材料或不同材料之间的真空密封接头处。 漏源：真空容器壁上如有小孔，大气就会漏入容器内。必须减少漏孔的尺寸和数量，使总的气体流入量小于或等于抽速与压强的乘积。 检测：氦检漏仪能够非常灵敏地检测出影响真空系统达到超高真空的漏孔。 最小可检测的氦气流入量是10-12 Pa?m3/s 超高真空 10-9 10-9 高真空 10-4 10-4 真空度 (Pa) (Pa?m3 ?s-1) 对于上面这个例子，漏气率为10-12 Pa?m3/s 比达到超高真空允许的水平低三个量级，因此，氦检漏试验能够非常灵敏地检出影响真空系统达到超高真空的漏孔。 ? 对策：利用永久密封技术和可拆密封技术尽量减少漏孔的尺寸和数量，使总的气体流量小于或等于抽速与压强的乘积。 由于压差、振动和热胀等因素在接头内产生的应力和应变，可能会使接头损坏。 5.2 虚漏 来源：疏松的结构物质以及材料内部的花纹、气孔和裂缝等，在大气存放时会储存气体，抽真空时会形成虚漏源。 实例：真空系统的螺钉拧入盲孔，就会有以小体积的大气储存在孔内。当对容器抽气时，这部分气体就沿螺钉螺纹形成的螺旋形狭缝漏入真空系统内。气流量受狭缝流导和压强差所控制。最后，当所有气体漏完后便不再有漏气量了。 本质：虚漏的问题，并不是限制系统的极限压强，而是达到极限压强要花很长的时间，这个时间严重地依赖于储存气体的体积和狭缝流导。 ? 对策：元件或部件的正确设计往往能避免这种虚漏。 假设储存气体的体积为10-6m3，狭缝流导是10-2m3s-1，则除气时间为： 约10天 5.3 蒸发 定义：当固体或液体的任一原子或分子的动能足以克服其结合能时，就有粒子逸出而成为气体，这个过程称为蒸发。 实事：由于粒子能量杂乱分布,总会有一些粒子具有足以逸出的能量，因而蒸发在任何瞬时都可能发生。 事例：若固体或液体处在隔离周围气体的密闭容器内，则所有蒸发出来的气体粒子将聚集在容器内，聚集气体的密度和压强都将增