【2017年整理】光纤传感器.ppt

光纤压力传感器 发展背景 光纤传感技术是伴随着光导纤维及光纤通信技术的发展而迅速发展起来的一种以光为载体，光纤为媒质，感知和传输外界信号(被测量)的新型传感技术。当这种外界信号为压力时，即构成光纤压力传感器。 光纤压力传感器作为一种新型的传感器，与传统的压力传感器相比体积小、重量轻，具有电绝缘性、不受电磁干扰、可用于易燃易爆的环境中等优点，另外还可以构成光纤分布式压力传感器，对桥梁、大坝等进行健康状况的实时监测。光纤压力传感器的研究在国外始于20世纪70年代初，当时研制出一种用于血管压力测量的微型光纤压力传感器，之后许多研究工作都集中于工程应用中。到了20世纪80年代，出现了利用紧贴膜片的叶片或光阀的运动来调制光强的光纤压力传感器和靠膜片挤压光纤使其传输特性发生变化而制成的光纤压力传感器，其传感器的精度一般为±3.0%左右，线性度可达±1.5％。进入20世纪90年代，更多光纤压力传感器进入商品化阶段，精度和灵敏度也不断增加，如采用光纤法布里一珀罗干涉法的光纤压力传感器，它的精度达到1.0％，线性度达到±0.5％。 目前整个光纤传感器市场年成交额超过10亿美金，并预计将于2010年拥有超过50亿美金的市场，光纤压力传感器也会随之得到很大发展。 光纤压力传感器的设计原理 光纤压力传感器是依据把被测量的压力转换为光纤F—P干涉腔长度 L的变化来测量分析的原理进行设计的，结构图如1所示。将2根端面镀膜 的光纤利用激光微加工技术与石英毛细管熔接在一起形成F—P干涉腔。 从入射光纤进入的光经过第一个反射面M。形成第一束反射光和第一束 透射光。透射光经F—P腔射到反射光纤的端面M2上，被M2反射形成 第二束反射光。此反射光再经M1，返回到入射光纤，与第一束反射光形 成干涉光。在外界压力的作用下，光纤F—P腔的腔长将产生相应的变 化，即实现了压力对F—P腔长的调制。 光纤压力传感器的几种类型 1.透射型 图2给出了一种透射型光纤压力传感器，在发射光纤与接收光纤之间放置 一个遮光片，对进入接收光纤的光束产生一定程度的遮挡，外界信号通 过控制遮光片的位移来制约遮光程度，实现对进入接收光纤的光强进行调制。遮光片移动的距离与光强成正比，通过压力来控制遮光片的移动，从而建立起压力与光强之间的关系，通过光探测器接受到的光强可以得到压力的大小。两光纤端面之间放置有普通透镜或自聚焦透镜。图3是所测光强与遮光片移动距离的关系曲线，其中D为两透镜之间平行光束的直径。从图中可以看出，这种传感器的灵敏度高和线性度都很好。 另一种透射型光纤压力传感器如图4所示。 两根光纤的端面之间相隔一个微小的间隙，间隙中放置一对光栅，光栅由等宽度的全透射和全吸收平行线交替形成的栅格构成。当两个光栅发生相对移动时，光的透射强度就随之变化。其中一个光栅固定在传感器的底板上，另一个光栅与弹性膜片相连。输入光经透镜准直后射到一对光栅上，如果两光栅所处的相对位置正好全透过与全吸收重合，这种情况下没有光透过光栅，输出光为零；如果两光栅所处的相对位置是全透过与全透过重合，此时输出光达到最大，输出光经另一透镜聚焦到输出光纤中。 移动光栅式压力传感器的光强与位移之间的关系如图5所示，设两个光栅间距都为5μm、栅格宽度都为5μm，从曲线可以看出，当工作点即偏置工作点调到2.5μm、7.5μm、12.5μm等相对位移时，其灵敏度将为最大，在这一段位移范围内线性度最好。由于膜片工作在小挠度情况下，膜片的中心位移与压力成正比，因此在这个范围内，输出光强度近似正比于压力。这种传感器结构简单，工艺要求不严，灵敏度也比遮光式要高，可以检测到1μPa的压力差，而且具有较好的长时间工作的稳定性和可靠性，因此具有很大的实用价值。 2.微弯形 目前最常用的微弯式压力传感器原理图如下图所示，微弯结构由一对 机械周期为山的齿形板组成，敏感光纤从齿形板中间穿过，在齿形板的 作用力F下产生周期性的弯曲。当齿形板受外部扰动时，光纤的微弯程度 随之变化，从而导致输出光功率的改变，通过光检测器检测到的光功率 变化来间接地测量外部压力的大小。 图6光纤微弯压力传感器 根据微弯损耗机理和模式耦合理论，若纤芯中的传播常数β与包层 中的传播常数β′满足条件：β-β′= ± 2π/Λ0 纤芯和包层的耦合达到最强(Λ0为微弯结构的机械周期)。通过对光载波 强度的检测，就能够确定与之成比例的变形器的位移，并确定压力的大 小。检测方法分为亮场和暗场两种。 图7微弯式压力传感器 （a）亮场检测；（b）暗场检测 亮、暗是指背景光强的强弱不同，前者是利用光纤芯中的传输光的光强调制；后者是利用由于微弯作用而泄漏到包层中的光强调制。很显然，暗