模块六液位的测量.ppt

若电介质εr1=1, 当L=0时，传感器初始电容C0=ε0εrL0b0/d0。 当被测介质εr2进入极板间L深度后，引起电容相对变化量为 可见，电容量的变化与电介质εr2的移动量L成线性关系。 变介质型电容式传感器 表 电介质材料的相对介电常数 2.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 前面已得到： 电容的相对变化量为 当|Δd/d0|1时，按级数展开，可得 可见，输出电容的相对变化量ΔC/C0与输入位移Δd之间成非线性关系，当|Δd/d0|1时可略去高次项，得到近似的线性关系： 电容传感器的灵敏度为 说明：单位输入位移所引起的输出电容相对变化的大小（即灵敏度）与d0呈反比关系。 如果考虑式中的线性项与二次项， 则 由此可得出传感器的相对非线性误差δ为 要提高灵敏度，应减小起始间隙d0，但非线性误差却随着d0的减小而增大。 在实际应用中，为了提高灵敏度，减小非线性误差，大都采用差动式结构。 在差动式平板电容器中，当动极板位移Δd时，电容器C1的间隙d1变为d0-Δd，电容器C2的间隙d2变为d0+Δd, 则 差动平板式电容传感器结构图 在Δd/d01时, 按级数展开得 电容值总的变化量为 电容值相对变化量为 略去高次项，则ΔC/C0与Δd/d0近似成为如下的线性关系： 如果只考虑式中的线性