多弧离子镀设备阴极电弧蒸发源工作稳定性的研课件.docVIP

一 引言 多弧离子镀设备中阴极电弧蒸发源(靶)的真空电弧放电共工作电流一般为60～ 100A或更高些， 工作电压约20V， 电弧电流集中在靶面的阴极弧斑上， 斑点面积很小， 电流密度很高。在无外加磁场的情况下， 阴极孤斑在靶面上的运动是无规则的，其颠簸运动速度达每秒几米， 由于这种无规则的运动， 若斑点移到蒸发面以外， 可能导致灭弧、损坏装置及污染膜层。如何使蒸发源稳定工作，提高蒸发源的工作性能，对提高设备的整机水平，提高膜层质量极为重要。二 多弧靶真空电弧稳定性的影响因素 对多弧靶真空电弧的稳定性问题， 许多科技工作者已避行了大量的试验研究工作-发表过许多论文，提出了一些提高电弧燃烧稳定性办法。L.P.Sablev曾提出采用间隙屏蔽和采用一些反馈机构来提高电弧的稳定性；H.Wroe建议采用磁场限制阴极弧斑的运动；C.F.Morrison.Jr则利用限弧环限制弧斑移离蒸发表面的办法来维持电弧的正常燃烧。通过大量的实验研究发现， 多弧靶电弧放电的稳定性与许多因素有关。影响效果最显著的是磁场对电弧燃烧稳定性的影响； 同时阴极表面的清洁程度、阴极靶面的几何尺寸、几何形状及表面状态、阴极靶面的表面温度、电弧电流的大小、真空室内真空度及环境气氛种类等对多弧靶电弧燃烧的稳定性都有不同程度的影响。三、实验现象及分析 1． 磁场对多弧靶电弧燃烧稳定性的影响多弧离子镀设