第6章 通信功能与总线接口附件-CANopen协议简介与应用开发.pptVIP

DS 401 RPDO1:映射到6200H的8个8bit array (DO) TPDO1:映射到6000H的8个8bit array (DI) 对应最大64个DI/DO（Boolean） RPDO2:映射到6411H的前4个16bit array（AO） TPDO2:映射到6401H的前4个16bit array（AI） RPDO3:映射到6411H的中4个16bit array（AO） TPDO3:映射到6401H的中4个16bit array（AI） RPDO4:映射到6411H的后4个16bit array（AO） TPDO4:映射到6401H的后4个16bit array（AI） Integer类型 2.1 应用对象 低温等离子体设备系统。 二 CANopen协议具体应用开发 PECVD设备系统概念图 除害装置 ＭＦＣ ＭＦＣ ＭＦＣ 气瓶柜 Gas Box 出气电极（阳极） Heater 等离子 电源匹配箱 Ｐ 控制器 ＲＦ電源 下部电极（阴极） 压力计 节流阀 Pump 气体供给 流量控制 RF电源 压力控制 真空排气 工艺腔室 PECVD设备组成结构示意图 基于CAN总线的低温等离子体设备系统设计方案 2.2 系统设计方案 系统软件总体框架 CAN驱动模块 状态管理和 反馈模块 实时过程数 据传输模块 参数读取 和配置模块 紧急事件 处理模块 对象字典