第9章光电式传感器技术1
第9章 光电传感器 光电式传感器技术 9.1、概述 一般来说,光电传感器是指把光信号转换成电信号的部件(器件);或者它首先把被测量的变化转换成光信号的变化,然后借助光电探测器进一步将光信号转换成电信号。前一种含义与光电探测器相似,是狭义的光电传感器,后一种含义是广义的光电传感器。后一种定义中,光电探测器是光电传感器的核心器件。因此,本章主要以光电探测器为出发点来进行讲解。 9.2、光电探测器的物理基础 内光电效应又分为光电导效应和光生伏特效应两类。 1、光电导效应:半导体材料在光照下,禁带中的电子受到能量不低于禁带宽度的光子的激发而跃迁到导带,从而增加电导率的现象(光照射改变物质导电率的现象)。 能量对应于禁带宽度的照射光子的波长称光电导效应的临界波长。 9.2.3、光电探测器的特性表示法 光电探测器的性能参数主要的有: (1)积分灵敏度R: 光电器件对连续辐射通量的响应程度U?与入射到光电器件上的辐射通量Ф之比,即 R=U/Ф。积分灵敏度值一般是依据标准辐射源的辐射来测定的,光电器件类型不同所用标准辐射源也不同。 (2)光谱灵敏度Rλ :光电器件对单色辐射通量的反应与入射的单色辐射通量之比. 光谱电流灵敏度 ,光谱电压灵敏度
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