第2章位移测传感器之光栅传感器.ppt

第三节 大位移检测传感器 二、光栅位移传感器 二、光栅式位移传感器 光栅式位移传感器有测量线位移的长光栅和测量角位移的圆光栅。 光栅式位移传感器的分类 1 测量线位移的长光栅 2 测量角位移的圆光栅 由大量等宽等间距的平行狭缝组成的光学器件称为光栅，如图所示。 用玻璃制成的光栅称为透射光栅，它是在透明玻璃上刻出大量等宽等间距的平行刻痕，每条刻痕处是不透光的，而两刻痕之间是透光的。 光栅的刻痕密度一般为每厘米10、25、50、100线。刻痕之间的距离为栅距W。 根据莫尔条纹效应设计光栅传感器。 若光栅栅距为W，两个相邻莫尔条纹的间距为BH，（即莫尔条纹中两条暗纹或两条亮纹之间的距离）则有 ——运动方向：当两个光栅沿刻线垂直方向作相对移动时，莫尔条纹则沿光栅刻线方向移动（两者的运动方向相互垂直）。光栅运动方向改变，莫尔条纹的运动方向也作相应改变。 ——莫尔条纹的位移与光栅的移动成比例：光栅每移动一个栅距W，莫尔条纹移动一个条纹间距BH； ——莫尔条纹具有位移放大作用：莫尔条纹的间距B与两光栅条纹夹角之间关系为BH= W/θ,θ越小， 则BH越大。这相当于把栅距 W放大了 1/θ倍。如对于25线/mm长光栅而言，W=0.04mm,若θ=0.016rad，则 BH =2.5mm (这样，可把肉眼看不见的光栅位移变成为清晰可见的莫尔条纹移动，可以