薄膜的蒸发沉积原理与技术课件精品.pptVIP

4 膜层厚度控制与均匀性 4.3 改善膜层厚度的均匀性 DINGQUAN LIU SITP - CAS (4) 控制好温度 温度影响凝结系数，影响沉积速率和分布，影响膜厚分布。 必要时可以用导热好的铜夹具。 避免将沉积温度选在材料凝结系数巨变的区域。 4 膜层厚度控制与均匀性 4.3 改善膜层厚度的均匀性 DINGQUAN LIU SITP - CAS (4) 避免定向蒸发 温升华的块状料，与蒸发舟接触的部分出现升华，蒸发气流沿空隙射出，分布不均匀。 应尽量使膜料块体不要太大，均匀分布。 4 膜层厚度控制与均匀性 4.3 改善膜层厚度的均匀性 DINGQUAN LIU SITP - CAS (5) 采取综合措施 多管其下后，膜层厚度的分布应该能够得到极大的改善。 光学薄膜（特别是滤光片）对厚度控制非常严格。修正后，能够取得很好的效果。 5 热蒸发薄膜的一些应用 5.1 光学薄膜 DINGQUAN LIU SITP - CAS (1) 光学增透 眼镜、镜头等表面都需要增透膜，减少反射