* 第四节 电子背散射衍射技术原理及花样标定 一、电子背散射衍射技术原理 电子背散射衍射花样由宽度不等、纵横交错的多条菊池 带组成。菊池带的交点称为菊池极,相交于同一菊池极的菊 池带对应的晶面构成一个晶带,菊池极所代表的方向为此晶 带各晶面的共有方向,即晶带轴 菊池带宽度w 与相应衍射晶面间距d 的关系为 w = R? (14-20) ? = 2dsin? (14-21) 式中, R为荧光屏上菊池带与样品上电子束入射点之间的距 离; ? 为入射电子束的波长, 因在样品表层几十纳米的范围 内大部分非弹性散射电子的波长变化非常小 * 第四节 电子背散射衍射技术原理及花样标定 二、衍射花样标定原理 将菊池花样通过Hough变换, 根据菊池带的位置, 与标 准花样对比标定个菊池极指数, 以上过程由计算机自动进行 如图14-22,由原点向直线作垂线,交点坐标为(x, y),若垂线 长为?,其与x 轴间夹角? ,则有如下关系
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