4.生物医学传感-电阻传感器2概要.ppt

一、压阻效应 压阻效应：当固体材料在某一方向承受应力时，其电阻率（或电阻）发生变化的现象。 压阻式传感器分类 体型压力传感器： 半导体应变式 固态压阻式传感器（扩散型压阻传感器）： 应变电阻与硅基片一体化 固态压阻式传感器的特点 灵敏度高 分辨率高 体积小、重量轻、频率响应高 温度误差大 【例】 电阻率的变化与应力分量之间的关系: 分析: 剪切应力不可能产生正向压阻效应 正向应力不可能产生剪切压阻效应 剪切应力只能在剪切应力平面内产生压阻效应 剪切压阻系数相等 正向压阻系数相等 横向压阻系数相等 对P型硅(掺杂三价元素）： π11、 π12≈0，只考虑π44 ： 对N型硅(掺杂五价元素）： π44 ≈0 ， π12 ≈ -1/2π11 ， 2、任意方向（P方向）电阻变化 将各个压阻系数向P、Q方向投影: [例1]：计算（100）晶面内[011]晶向的纵向与横向压阻系数。 [例2]：计算（110）晶面内[110]晶向的纵向与横向压阻系数。 解释： 1、在[110]晶向：扩散两个径向P型电阻 2、在[110]晶向：扩散两个切向P型电阻 所以： 如：扩散在0.812r处，此时σt=0 电桥输出为： 2、恒流源供电 4、灵敏度温度漂移 补偿方法1：改变电源电压的方法 压阻式传感器常用补偿方法 硬件线路补偿 软件补偿 专用补偿芯片补偿 ? MCA7707是一种