小片污染类不良项目改善教程分析.ppt

日期 早上洁净棚洁净度 晚上洁净棚洁净度 11月5日 机台 洁净度(0.5um) 机台外 洁净度(0.5um) 机台 洁净度(0.5um) 机台外 洁净度(0.5um) 1# 31 1#洁净棚外（2、3） 1135 1# 45 1#洁净棚外（2、3） 10129 4# 0 4#洁净棚外（5、6） 851 4# 0 4#洁净棚外（5、6） 64 7# 0 7#洁净棚外（8、9） 2384 7# 0 7#洁净棚外（8、9） 30 11月6日 机台 洁净度(0.5um) 机台外 洁净度(0.5um) 机台 洁净度(0.5um) 机台外 洁净度(0.5um) 1# 13 1#洁净棚外（2、3） 528 1# 87 1#洁净棚外（2、3） 1888 4# 0 4#洁净棚外（5、6） 25 4# 0 4#洁净棚外（5、6） 65 7# 1 7#洁净棚外（8、9） 13 7# 0 7#洁净棚外（8、9） 37 原因验证-（洁净棚环境落尘） 小洁净棚和小洁净棚外洁净度 非真因 真因 √ 日期 贴合机台 型号 投入数量 良品数量 不良数量 总良率 11月4日 7# S4700BP 2224 2122 102 95.41% 8#、9# 4560 4334 226 95.04% FOG3线 6784 6456 328 95.17% 11月5日 7# S4700BP 1106 1070 36 96.75%