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工序介绍 操作规范 操作规范 操作规范 操作规范 碳化硅材料清洗操作规范和技巧 主要内容 第一部分：工序介绍 第四部分：操作技巧 第二部分：操作流程 第三部分：操作规范 第五部分：设备相关 第六部分：质量控制 第七部分：安全生产 工序介绍 碳化硅材料介绍 1.碳化硅材料耐高温，硬度大，但比较脆，不能碰撞。 2.碳化硅属于导电材料，不能直接接触炉丝，否则会被熔化。 3.碳化硅研磨性很强，两个碳化硅之间不能摩擦。 4.目前我们用的碳化硅材料包括碳化硅浆舟和碳化硅管。 工序介绍 工具清单 　 　 　 圆珠笔 　 试纸 　 耐酸碱手套 　 PVC手套 　 医用手套 　 净化口罩 　 型号规格 名 称 工具、器具 工序介绍 所需药品 盐酸 氢氟酸 大石英管清洗机 操作流程 碳化硅处理操作流程（一） 在净化间打开包装，检查产品是否合格. 配制1:1:4，将浆舟或碳化硅管放在清洗机内 泡1:1:4后，用去离子水浸泡，冲洗。 用氮气将浆舟吹干，放在石英管内150度烘烤 拆装 自检 酸冲洗 溢流 冲洗 用三氯乙烷工艺清洗后，记录清楚后可以使用 饱和使用 干燥 拆包装操作规范 在净化间内打开包装，检查产品型号规格是否正确，外观是否有破损（如碳化硅管）。 操作规范 酸洗操作规范 把大石英管清洗槽清洗干净，配制好1：1：4，把碳化硅浆舟放进去浸泡30-50分钟。 操作规范 酸洗操作规范 浆舟柄部