人体静电放电的危害防及止措施.docVIP

人体静电放电的危害及防止措施 ? 随着工业生产的不断发展，特别是高分子材料工业，石油化学工业、化纤工业、电子工业、爆破器材工业及航空航天工业的不断发展，静电的危害，显得越来越突出，在众多的静电灾害中，人体静电放电引起的灾害占有相当的比重。因此，必须加强以对人体静电、放电规律的研究。 1．??????? 1．1 ESD引起元器件损坏　 另一方面，随着技术的进步，目前IC技术发展的趋势按每代芯片面积增大1.5倍，单元面积缩小1/3的规律，到2003年时将生产出1GB的DRAM，其特征尺寸为0.15～0.1μm，单元面积为0.3～0.2μm2，届时对静电更加敏感。 ESD对元器件的损害后果导致其硬击穿或软击穿。所谓硬击穿是一次性造成芯片介质击穿、烧毁等永久性失效；软击穿则是造成器件的性能劣化或参数指标下降而成为隐患，在使用时，由于器件参数变化很可能使整机运行不正常，或运行一段时间后不能工作。因此软击穿比硬击穿带来的危害更大。 如：某公司共进行了18700只MOS电路的老化试验，发现失效率很高，经分析和研究认为大部分失效是由ESD引起。于是该公司为此问题专门写了一份有改正措施的报告，并对全体有人员进行了防静电放电损伤的技术培训。器件采用防ESD包装，加强了各项防ESD损伤的措施，后来又老练了18400只同种器件，拒收率降低到原来的1/3。 1．2引起人体电击