电子束加工.pptVIP

离子镀（离子溅射辅助沉积）：在镀膜时，离子同时轰击靶材和工件表面，目的是为了增强膜材（靶材）和工件基材之间的结合力。（如图C） 离子注入：较高能量的离子束，直接垂直轰击被加工材料，离子钻入被加工表面层，改变了工件表面材料的化学成分，从而改变了工件表面层的机械物理和化学性能。根据不同的目的选用不同的注入离子，如：磷、硼、碳、氮。（如图D） 离子束加工的特点： 是所有特种加工方法中最精密、最细微的加工方法，是纳米加工技术的基础。 是在高真空中进行，污染少，特别适用于易氧化的金属、合金材料和高纯度半导体材料的加工。 离子束加工是一种微观作用，宏观压力很小，所以，加工应力、热变性极小，加工质量高，适合于各种材料和低刚度零件的加工。 离子束加工设备费用贵、成本高，加工效率低。 二、离子束加工装置： 离子束加工装置与电子束加工装置类似， 包括： 离子源（用来产生离子束，常用的有：考夫曼型离子源和双等离子体型离子源） 真空系统 控制系统 电源等 离子源用以产生离子束流。产生离子束流的基本原理和方法是使原子电离。 具体办法是： 把要电离的气态原子（如氩等惰性气体或金属蒸气）注人电离室,经高频放电、电弧放电、等离子体放电或电子轰击,使气态原子电离为等离子体（即正离子