DSS450多晶炉作业指导书5.docVIP

1. 目的： 为正确、规范地操作多晶炉，确保生产作业正常，特制订本规范。 2. 范围： 适用于DSS 450型多晶炉区 3．作业内容 3.1. 作业准备 3.1.1. 进入多晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。 3.1.2. 开炉前，按工艺要求检查水、电、气、炉内温度，确认无误后方能开炉。要求：水压50-65psi，进水出水压力差不小于37psi，进水温度21-30℃（推荐值24℃），出水温升不大于12℃（推荐8℃），应急水（可选自来水）最小流速60LPM且可持续8h，压缩空气压力73-115psi且温度不超过49℃，氩气压力30-50psi，环境温度5-30℃推荐值24℃，相对湿度65%（25℃），三相交流电电压380V，炉内温度不超过450℃，炉压不小于980mbar。 3.1.3. 准备好一次性PVC手套、、 酒精、软刷、吸尘器及可能需要的配件，如石黑螺栓、螺帽等。 3.3.1. 专业检修人员检修热区：首先检测螺丝有无松动，螺栓有无断折，松动的要及时扭紧，断的要及时更换；而后检测相应加热件的连接性以及其与石墨纤板及炉体的电绝缘性，一般要求绝缘阻抗大于2K欧，最小不能低于1 K欧。若加热件上有颗粒物和脱落物以及其它杂物，需用吸尘器及时除去，吸不去的先用软刷刷一刷，而后再用吸尘器吸；若隔热笼上有杂质，也应及时用吸尘器除去，吸不去的先用软刷刷一刷，而后再用吸尘吸。 3.3.2. 用吸尘器将炉腔内清理干净，清理顺序为：DS助凝板、石墨纤维板、防溢石棉、腔内壁杂物，直至确认炉体内无明显污物为准。 3.3.3. 检修及清理完成后，要确认没有物体遗落到炉内，这一点很重要，要切记。 注意不要将任何物品遗漏到炉体内。 3.3.4. 检修清理完成后要做相应的记录。 3.4．硅料装炉 3.4.1. 派专人到装料区将装好料、石墨护板的坩埚装置，用叉车搬运到待装的多晶炉旁等待准备装料。 3.4.2. 装料（一般需要三人） 3.4.2.1.装料时，一人控制叉车，两人在炉子两侧（前左侧和前右侧）监测坩埚装置的位置，两人协调指挥，指引叉车控制者控制好叉车。石墨底板边沿与DS助凝块边沿之距四边均为10.2cm，要求误差1.5mm。协调指挥的两人用角尺反复测边距，并把测量结果实时地告知叉车控制者，叉 類 別 制訂日期 车控制者跟据测量值实时调整叉车，直到坩埚位置到位为止。硅料装炉过程中要注意小心轻放，以防损坏底部热电耦TC2及石墨支杆。 3.4.2.2.塞入四侧的碳纤维隔热板条并让其紧贴着坩埚底板，放置完成后，用吸尘器将坩埚、DS助凝块四周清理干净，一切处理完成后，操作人员用蘸有酒精的无尘纸将下炉腔与炉体接触的两个面擦拭干净，然后均匀地涂上一层真空脂，油脂适量即可，切忌过多，否则会影响抽真空且又造成浪费。 3.4.2.3.合上下炉腔。（注意：当“需要”时，在下炉体快接触到上炉体时要注意人为地减速（即松下按钮），以防限位出现故障而导致下炉体撞到上炉体。） [注意] 若需要更换热电偶，则注意安装热电偶时一定要保证安装到位，即要满足即GT的标准。 3.5. 抽空、检漏 3.5.1．打开真空泵。 3.5.2．在屏目上选择自动抽气，进行抽真空。在高压态时自动打开V3阀进行慢抽以防快抽大气流带出较碎的硅粒；在压力下降到200mbar时，V1阀自动打开同时关闭V3阀进行快抽；当压力下降到50mbar以下时，加强泵自动启动，进行快速抽。整个抽气过程在正常情况下需1.5到2.5小时。 3.5.3．当炉压下降到0.008 mbar时，开始点击自动运行按钮进行检漏，先检测主炉室，再检测TC电耦仓，检漏时间各为300秒，以上检测为自动进行无需人为动作。要求检漏炉压总变化率最好不超过0.008mbar。检漏合格后进入自动长晶生产过程。 3.5.4．若炉子没有通过自动检漏，可选择再次抽空检漏，若仍不合格则依次检测TC热电耦仓、主炉仓并确认哪个部分漏气。而后充气增压，使炉室压达到常压。若TC热电耦仓漏气，则打开TC热电偶仓，拆下TC热电偶并检查氧化铝管有无问题，若无问题则清洁密封部位并涂上真空油脂，重新装上TC热电偶，并密封好TC热电耦仓。若氧化铝管有问题，则更换氧化铝管，清洁密 類 別 制訂日期 封部位并涂上真空油脂，重新装上TC热电偶，并密封好TC热电耦仓。若炉腔漏气，打开下炉腔，检察炉腔密封件有无问题，若有问题更换新的，若无问题重新擦拭后涂均真空油脂，最后合上下炉腔。重复3.5.2-3.5.4，检漏合格后方可进入自动长晶过程。如再次不合格则报告专业维修人员处理。并进行相应记录。 3.6. 自动生产过程