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第4章 信号检测技术 一、传感器概述 二、长度及位移检测 三、角度及角位移检测 四、绝对测距 五、力/压力检测 一、传感器概述 1、传感器的基本概念 一、传感器概述 2、传感器的构成型式 二、长度及线位移检测 1、电感式位移传感器 二、长度及线位移检测 电感位移传感器—基本形式 二、长度及线位移检测 二、长度及线位移检测 电感位移传感器 二、长度及线位移检测 电感位移传感器 二、长度及线位移检测 2、光栅位移传感器（Grating） 二、长度及线位移检测 二、长度及线位移检测 二、长度及线位移检测 (2) 光栅传感器特点 ①精度高：测长±(0.2+2×10-6L)μm，测角±0.1″ ②量程大：透射式---光栅尺长（1米），反射式---几十米 ③响应快：可用于动态测量 ④增量式：增量码测量 → 计数 断电→数据消失 ⑤要求高：对环境要求高→温度、湿度、灰尘、振动、移动精度 ⑥成本高：电路复杂 二、长度及线位移检测 二、长度及线位移检测 二、长度及线位移检测 二、长度及线位移检测 2、光学干涉（Interference） 二、长度及线位移检测 二、长度及线位移检测 双频激光干涉位移传感器 二、长度及线位移检测 激光干涉位移传感器 三、角度及角位移检测 1、绝对码光电编码器 三、角度及角位移检测 三、角度及角位移检测 三、角度及角位移检测 2、增量码光电编码器 三、角度及角位移