扩散泵浦工作原理.docVIP

染，倘若是如此只要換掉molecular sieve 又可以恢復正常。 擴散幫浦 先前所介紹的幫浦均是針對使用在低真空的工作環境，倘若若要使真空環境達到高真空，則必須搭配其他種類的幫浦才有可能。擴散幫浦可以說是在高真空幫浦中第一個被研發出來的，早在十九世紀就已經被人使用，只不過當時該幫浦的最大缺點是所使用的真空尤其分壓很高，常常發生油氣回流到腔體內形成污染，這是當時使用者最大的顧忌 。隨著科技進步，低蒸汽壓的真空油被研發之後，擴散幫浦便被大量的使用在真空技術上。雖然日前渦輪幫浦，離子幫浦以及冷凍式幫浦持續更新，抽氣速度又快，又乾淨，但是壽命長且又堅固的擴散幫浦依舊佔有它一席之位。 擴散幫浦為科學家Gaede所發明，當時所用的真空由是水銀而不是目前我們所看到的真空油。真空幫浦的原理乃是真空油被加熱之後，獲得極高的熱能，分子的熱運動帶著相當大的運動速度，緊接著分子被類似煙囪的幾何架構所導引然後由噴嘴向下噴射，由於該分子具有極大的運動速度，因此在經由噴射之後其速度可接近音速。當分子噴出後，倘若周圍附近有氣體分子，則經過碰撞後，一定會有動量的轉移現象，結果該氣體分子便有向下運動的趨勢。通常在擴散幫浦的氣體出口處都外接一個Rotary pump，該Rotary pump產生一吸力，將這些聚集在幫浦出口處的氣體分子帶走，如此一來擴散幫浦的入口處與出口處會因氣體的分子數的濃度不同而產生擴