集成光电子器件及设计-浙江大学光电科学与工程学院.pptVIP

集成光电子器件及设计 第一章 浙江大学光电信息系 * 集成光电子器件及设计 第一章 概论 浙江大学光电信息系 集成光电子器件及设计 第一章 * IC+Laser (and much more) on a chip=Integrated Photonics Intel 2010 * * 半导体技术的发展趋势 All optical networking * * 硅上的三维光电集成 Photonic wafer III-V microlaser microheater waveguides BCB transistors metal interconnects BCB CMOS wafer TSV E. Beyne et al. ICICDT (2007) TSV：Through Silicon Vias 浙江大学光电信息系 集成光电子器件及设计 第一章 * Intel公司报道了基于硅基混合激光器光源的四通道CWDM收发模块 浙江大学光电信息系 集成光电子器件及设计 第一章 * 1.1 课程简介 2学分（1.5-1）：24学时的理论授课，16学时的实验操作 夏季学期共8周的课程安排 浙江大学光电信息系 集成光电子器件及设计 第一章 * 教学目的与基本要求 使学生对“集成光电子器件”的基础理论、器件原理以及制作工艺流程等有比较全面的了解， 对光波导理论、耦合模理论有较深的理解。 掌握典型的集成光电子器件的工作原理、基本结构及应用。 结合国际上这一领域的最新进展，激发学生对该领域相关方向的兴趣，培养学生分析问题的能力和思维方式。 浙江大学光电信息系 集成光电子器件及设计 第一章 * 主要内容及学时分配 概述 (1学时) 平面介质光波导和耦合模理论(6学时) 平面介质光波导(2学时)，耦合模理论(4学时) 晶体在外场作用下的光学性质(2学时) 集成光无源器件(6学时) 定向耦合器、Y分支功分器、马赫－泽德干涉仪、阵列波导光栅等(2学时) 电光集成器件、声光集成器件、热光开关与调制器、磁光隔离器与环形器(4学时) 光有源器件导论与系统集成 (2学时) 集成光学器件的材料 (3学时) 集成光学器件的主要制作工艺及平面介质光波导参量测试 (3学时) 集成光电子器件的最新进展 (1学时) 课程实验初步安排 实验一：马赫曾德光调制器的BPM仿真 （第三、四周的三个时间段） 实验三：Y分支功分器测试实验 5人/组 （第五、六周的六个时间段） 实验二：微环谐振腔的FDTD仿真 （第三、四周的三个时间段） 实验四：光波导器件制作流程（Video) 浙江大学光电信息系 * 大型课程设计作业 一种硅基光耦合器研究，要求： 通过文献阅读和调研，提出一种标准单模光纤与500nm×220nm硅纳米线波导实现高效耦合的硅基光耦合器的结构和设计方法； 完成该器件的优化设计与分析；给出1500nm-1600nm波长范围TE及TM模的耦合效率，研究其波长相关性及偏振相关性。 提交论文报告。 参考文献： 《微纳光子集成》 何赛灵，戴道锌. 科学出版社 《光波导模式理论》 马春生，刘式墉 吉林大学出版社 《硅光子学》余金中主编，科学出版社 “Silicon Photonics, the state of the art”，Graham T. Reed, John Wiley Sons, Ltd ?????? * * Single-mode fiber core 1mm SOI wire Key Points: Low loss Large bandwidth Coupling tolerance Fabrication Limited extra processing Tolerant to fabrication Polarization Coupling into SOI Nanophotonics 浙江大学光电信息系 集成光电子器件及设计 第一章 * 器件结构 耦合效率 3dB带宽 优点 缺点 正向楔形耦合器 较低 很大 工艺简单，易于实现 器件尺寸大，不利于与亚微米波导器件单片集成，耦合效率低 反向楔形耦合器 最高(89%) 很大 对准容差大 工艺难度高，偏振敏感 反向棱镜耦合器 较高(45%) 较宽 应用灵活，制作简单，对准可靠 难于集成，需要环氧黏合剂，偏振敏感 折射率渐变半透镜耦合器 高(78%) 较宽 制作容差大 难于集成，工艺复杂，偏振敏感，对准容差小 光栅耦合器 较高 较宽 工艺简单，容差大，易对准，无需划片，易于集成 偏振敏感 各种硅基光子器件耦合器的比较 * * 10° TE 10μm wide waveguide