真空技术基础预案.pptVIP

* 电离计的工作原理是热阴极A发射电子，经过加速极加速，大部分电子飞向收集极，在B-C之间的拒斥场作用下，电子运动速度降低，当速度减到零时，电子又重新飞向B极，在电子飞向B-C空间时，同样也受到拒斥场的作用，在速度减为零时，电子返转飞向C极，电子在B-C空间的反复运动，将与气体分子不断发生碰撞，使气体分子获得能量而产生电离，电子最终被加速极收集，而电离产生的正离子则被收集极接受并形成离子流I+。 电离真空计 种类 测量范围 特点 注意 电容真空计 10-3～103Pa 灵敏度高、气体的介电常数不变、压力读数完全不受气体成分影响、反应速度快 使用前一般需要预热数小时。 必须在高于环境温度的恒温条件下使用。 皮拉尼 (Pirani) 0.1Pa~1atm 整个线性误差允许范围是正负百分之３０，其中１０００Ｐa------1Pa这一段线性最好，也就是从中真空段到低真空段部分． 因各种气体的比热及其撞击灯丝时带走的热量不尽相同，所以需要对测量不同的气体进行校正，否则误差甚大。 热偶真空计 1~300Pa 精度不高，但是电路简单,价格低廉。 电离真空计 Ion gauge 10-10-10-13Torr 应用于高真空至超高真空领域,定量性能优异。通常与热偶规同时使用 比较： * 小型化：是电子技术发展的产物,它又是一体化和集成化的基础 一体化：可以提高测量准确度 集成化：可以更好地适应在实际真空系统中的应用 智能化：依赖于计算机技术的迅速发展 系统化:可满足工业自动化的需求,亦与计算机技术密切相关 因此,真空计向小型化、一体化、集成化、系统化和智能化方向的发展,是在迅速发展的电子技术和计算机技术的推动下,为满足应用的需求而产生的结果。 真空计的发展趋势 * 低真空系统 系统组成： 真空室；机械泵；热偶规 应用 低压化学汽相薄膜沉积； 真空包装等 真空室 机械泵 控制与测试 电磁阀 热偶规 * 高真空系统 系统组成： 真空室；分子泵或油扩散泵； 机械泵；热偶电离复合规- 应用:溅射沉积和蒸发等镀膜系统. 真空室 机械泵 控制与测试 电磁阀 复合真空规 扩散泵或分子泵 * 超高真空系统 系统组成： 真空室；分子泵或油扩散泵； 机械泵；离子泵；热偶电离复合真空规 应用 表面，界面及原子操纵 真空室 机械泵 控制与测试 电磁阀 复合真空规 扩散泵或分子泵 离子泵 * * 主要的吸附剂 主要的吸附剂 真空的获得 * 气体流动及导率 气体传导率 串联的气体传导率：1/C = 1/C1 + 1/C2 + 1/C3 + … 并联的气体传导率：C = C1 + C1 + C3 + … 泵1 泵2 真空室 真空室 泵1 泵2 并联可以提高抽速 串联可以提高极限真空度 * * 大气状态 所需真空度 真空泵：具有抽气功能的设备 复合真空泵：前级泵＋次级泵 真空泵的分类 （1）输运式真空泵：以压缩方式将气体输送到系统之外。 a、机械式气体输运泵：旋片式机械真空泵、罗茨泵、 涡轮分子泵。 b、气流式气体输运泵：油扩散泵。 （2）捕获式真空泵：依靠凝结或吸附气体分子的方式将气体捕获， 并排出系统之外。如低温吸附泵、溅射离子泵。 真空泵简介 旋转叶片真空泵(机械泵) 工作原理： 凡是利用机械运动（转动或滑动）以获得真空的泵，就称为机械泵。它是一种可以从大气压开始工作的典型的真空泵，既可以单独使用，又可作为高真空泵或超高真空泵的前级泵。由于这种泵是用油来进行密封的，所以又属于有油类型的真空泵。这类机械泵常见的有旋片式、定片式和滑阀式（又称柱塞式）几种，其中以旋片式机械泵最为常见。 极限真空：单级为20×10-3 Torr； 两级串联能低于1×10-3 Torr * 旋片式真空泵是用油来保持各运动部件之间的密封，并靠机械的办法，使该密封空间的容积周期性地增大，即抽气；缩小，即排气，从而达到连续抽气和排气的目的。右图是单级旋片泵的结构图，泵体主要由定子、转子、旋片、进气管和排气管等组成。定子两端被密封形成一个密封的泵腔。泵腔内，偏心地装有转子，实际相当于两个内切圆。沿转子的轴线开一个通槽，槽内装有两块旋片，旋片中间用弹簧相连，弹簧使转子旋转时旋片始终沿定子内壁滑动。 旋转叶片真空泵(机械泵) * 机械泵的抽气原理 * 机械泵的结构 * 泵体内两个呈8字型的转子以相反的方向旋转，转子的咬合精度很高，且转子间，转子与泵体间无需油作密封，转速高，抽速快。 罗茨（Roots)真空泵(无油泵) 工作原理： （a）进气