3.热膜集成元件-EYC-TECH.pptVIP

1 誠田自動化儀錶（上海）有限公司 臺灣鎰田科技股份有限公司 風速感測原理 熱線式風速傳感器根據傳感元件之間的熱傳遞，例如熱絲線或金屬片和周圍的流體。移動的流體造成熱損失，改變電阻。藉由冷卻的效果可平衡流體的速度。在電路上保持傳感器溫度恆定。因此，流體造成電壓降可從傳感器所消耗的功率直接測量。圖為一恆溫風速計(Constant Temperature Anemometer,CTA)的基本設計。 簡 述 圖1.恆溫風速計的基本設計 傳感器性質(導熱係數、黏度、密度、壓力、溫度、流動方向等) 。 恆溫風速計一般分為熱線、熱膜、熱膜集成和鉑膜電阻元件 熱線元件 　　熱線元件選用的金屬絲材料，通常為鎢絲或鉑鎢絲。熱線元件的機械強度不高，能承受的電流較小，因此不適合在帶有顆粒的氣體中工作如圖2.。 圖2.熱線元件 2. 熱膜元件 　　熱膜元件是由沉積在石英等熱絕緣體上的0.01μm的鉑金屬構成。傳導材料層把熱膜的終端連接到加熱電流源。熱膜通常覆蓋了1~2μm厚的石英沉積層，保護熱膜免於粒子摩擦如圖3.。 圖3.熱膜元件 3. 熱膜集成元件 　　基於MEMS技術，利用濺射方法在半導體晶片或陶瓷底片上行成多個鉑膜電阻，分別作為為加熱器和溫度傳感器。其工作原理是以流體的熱傳遞為基礎，通過計算加熱電組的熱量損失來確定流量，圖4.為ST10集成元件的內部結構。 圖4.集成熱膜元件S