5发电式传感器及其应用2010.pptVIP

测量 电荷易泄漏，适宜作动态测量 电荷测量：电荷放大器（电容反馈放大器） 如果放大器开环增益A足够大 uo≈-qe/Cf 电荷放大器的输出电压与传感器的电荷量成正比，并且与电缆分布电容无关 电荷放大器的灵敏度取决于Cf——灵敏度的选择 常做高精度测量 测量 电荷测量：电荷放大器 测量 电压测量：阻抗变换＋放大 压电传感器的内阻抗Ra很高，输出的信号微弱 测量电路 阻抗变换：低阻抗输出 微弱信号进行放大 连接电缆改变（长度、布线）?Cc?影响电压灵敏度值 电压灵敏度随被测信号频率而变 不可以用于静态测量、测量精度不高 优缺点 优点 它具有很高的刚度，测量过程中变形甚小，是一种近乎理想的测力元件 尺寸与重量很小，可以小到只有零点几克，因而使用中对被测对象的附加质量小 固有频率高，可以高达数万赫兹，线性好 横向干扰小（最大不超过5%），可做成多向测力仪 响应快、灵敏度高、信噪比大、结构简单、性能可靠 缺点 调理特殊、不宜做静态测量 需经常校正灵敏度 压电式加速度传感器 结构 敏感元件：弹簧、质量 转换元件：压电元件 转换电路：电荷放大器、阻抗变换器 压电式传感器 内装IC 压电加速度传感器 内装微型IC-集成电路放大器 低阻抗输出，抗干扰，噪声小 性能价格比高，安装方便，尤其适于多点测量 稳定可靠、抗潮湿、抗粉尘、抗