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AOI原理简介
AOI 扫描设备培训 2010/1/12 目录 一、培训的目的和目标 二、培训的内容 三培训后考核问题 第一篇原理 機器以高亮度鹵素燈作為光源. 灰度圖 從上圖中我們可以得到兩個非常重要的信 息: 要想穩定抓到小針孔,不能將TH max 值調的太小 要想穩定抓到 fine short 和 凸銅,不能將TH min 值調的太高 第二篇 邏輯篇 AOI邏輯包括兩部份: 第一節Type Type規定了使用的算法和算法的銘感度并通過這些算法產生信息進而抓缺點.常用的算法包括: L T NICK CUT Open PH CMTS L 的形狀及作用 T 的形狀及作用 Cut 的形狀及作用 Open 的形狀及作用 PH 的形狀及作用 CMTS 的形狀及作用 從上圖中可以看到,CMTS沒有固定的形狀.隨Cam 資料的形狀變化而變化,其實質是圖形比較. 理論上可以抓取任何缺點.也是前面幾中算法的重要補充.有其他算法不可替代的功能. 第二節Rule Rule 規定了機器報出缺點的原則. 首先 AOI先將Cam 資料進行學習,將 Type 中規定的算法往Cam 資料上擺放,如能擺放下就會產生原稿信息(Reference Message),顯示為黃色小方塊 如下圖: 其次 ,AOI 在掃描中過程中將Type 中規定的算法擺放到掃描板子所產生的黑白圖像中.如果能擺放下就產生掃描信息(Inspection Message ) 顏色為藍色. 有了 Reference Message 和 Insepection Message, 機器按照Rule 原則比對.如果比對無誤認為不是缺點.反之則認為是缺點并報出. 下圖為Rule的一種規則. 從上圖中我們可以看到在Rule 中規定了多種規則.這裡不一一列舉. 在這裡特別介紹一下CMTS.首先在Rule 中可以看到,在比對中必須要有Inspection Message 但是如果是下面的缺點呢? 第三篇假點及對策篇 假點對AOI的影響非常大,主要表現在兩方面: 第一 假點會嚴重影響AOI的產能 第二 假點會影響AOI的良率 常見的假點主要有四種: 第一種 Cam 與板子不符 第二種 SES 蝕刻補償不當 第三種 機器參數設定不當 第四種 壓合刮傷和氣泡 針對這種假點,如果不多則參數不變;如果很多則在大面積基材區域Mask,並提昇灰階值. 實際板子 原稿資料 針對這種假點,只有Mask,但Mask 時,容易Mask 區域偏大,是該處的short 被Mask 掉,最好製前重新修改資料 實際板子 原稿資料 針對這種缺點,只有Mask 實際板子 原稿資料 針對這種假點,只有Mask 實際板子圖形 原稿資料 可以將低線寬,但會造成缺口漏檢, 建議是Mask ,最好修改資料或補償值 實際板子 原稿資料 臨時措施Mask ,最好製前修改資料 實際板子 機器處理後的黑白圖像 針對這種假點,AOI 臨時措施為:Mask或提昇灰階值並將低線距. 實際板子 機器處理後的黑白圖像 原稿資料 這對這種假點,AOI只有提昇灰階值,將低線距,並將低CUT的銘感度.這些都會將低對Fine short 的偵測力. 實際板子 Crpt 處理後資料 針對這種假點,臨時措施Longrelearn.永久措施Crpt 重新處理資料(參數已修改,重新處理後無此類現象,如處理還有請製前傳底片資料) 實際板子 原稿資料 * * 銅箔 基材 光源從上面以不同角度照射到板子上,銅面與基材產生不同的反光強度 CCD Camera 將以上的光強分布紀錄下來,形成明暗圖像.即灰度圖如下圖 機器將反光強度定義在0~255之間,即全黑的反光強度為0,全白的反光強度為255.如果想讓計算機知道不同的材質,必須給計算機設定一分界線即灰階值(Threshold).機器將大於灰階值的設為全白255,小於 反光強度 0 255 灰階值的設為全黑0,形成明暗相間的黑白圖像. 0 255 Threshold 0 255 這樣的灰階值,機器總共設定了三個灰階值.分別為 TH max TH TH min 由CCD 產生的灰度圖 板子實際看起來的的形狀 經過灰階值篩選後的黑白圖像 2 2 2 Fine pinhole B/W (bit map) 3 3 3 Fine short B/W (bit map) Other AOI without MTS Gray-level TH TH max TH max:
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