微机电系统的发展概况.doc

Layhot 微机电系统(MEMS)发展概况 MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。 MEMS由硅片采用光刻和各向异性刻蚀工艺制造而成，具有尺寸小、重量轻、成本低、可靠性高、抗振动冲击能力强以及易批量生产等优点。MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。　MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。MEMS技术正发展成为一个巨大的产业，就象近20年来微电子产业和计算机产业给人类带来的巨大变化一样，MEMS也正在孕育一场深刻的技术变革并对人类社会产生新一轮的影响。目前MEMS市场的主导产品为压力传感器、加速度计、微陀螺仪、墨水喷咀和硬盘驱动头等。大多数工业观察家预测，未来5年MEMS器件的销售额将呈迅速增长之势，年平均增加率约为18%，因此对对机械电子工程、精密机械及仪器、半导体物理等学科的发展提供了极好的机遇和严峻的挑战。 1微机电系统基本组成及原理 微机电系统（Micro Electro Mechanical System,简称MEMS）是通过微制造技术将机械单元、传感器、执行器件和电子元件整合到一片微基板上的系统装置。这种新兴的机电系统为传统机械科学的发展指明了一个重要的前进方向，微机电系统的概念起源于1959年美国物理学家、诺贝尔奖获得者Rechard P Feynman提出的微型机械的设想，其后1962年出现了第一个硅微压力传感器。1988年，世界上第一个硅微型静电电机诞生在美国加州大学伯克利分校，该电机直径仅为（60~120）μm,为世人瞩目,由此产生了世界微机电系统技术研究的一个阶段性标准.1989年NSF（National Science Foundation）7在研讨会的总结报告中提出了”微电子技术应用于电子、机械系统”,自此,MEMS 成为一个新的学术用语。 美国的研究是在半导体集成电路工艺技术基础上扩展而来的#称之为MEMS，欧洲的研究从系统的角度#突出强调了系统的观点#即将多个微型传感器、执行器、信号处理和控制电路等部件集成为智能化的微型电子机械系统，称之为Microsystems。日本利用传统的精密机械加工的优势，利用大机器制造小机器，再利用小机器制造微机器，故称之为Micromachine。 MEMS主要包含微型传感器、执行器和相应的处理电路三部分。作为输入信号的自然界各种信息首先通过传感器换成电信号，经过信号处理以后(模拟／数字)再通过微执行器对外部世界发生作用，传感器可以把能量从一种形式转化为另一种形式，从而将现实世界的信号(如热、运动等信号)转化为系统可以处理的信号(如电信号)，执行元件根据信号处理发生的指令完成人们所需要的操作，信号处理器则可以对信号进行转换、放大和计算等处理，微机电系统内容包含的单元主要有以下几大类：(1)微型传感器。微型传感器是MEMS的一个重要组成部分。1962年第一个硅微型压力传感器问世，开创了MEMS的先河。现在已经形成产品和正在研究中的微型传感器有：压力、力、力矩、加速度、速度、位置、流量、电量、磁场、温度、气体成分、湿度、PH值、离子浓度和生物浓度、微陀螺、触觉传感器等等。微型传感器正朝着集成化和智能化的方向发展。(2)微型执行器。微型执行器的功能是利用不同原理与执行机构来产生力并实现位移。微型电机是一种典型的微型执行器，可分为旋转式和直线式两种类型，其他的微型执行器还有：微开关、微谐振器、微阀、微泵等。把微型执行器分布成阵列可以收到意想不到的效果，如：可用于物体的搬送、定位、微型执行器的驱动、压电驱动、电磁驱动、形状记忆合金驱动、热双金属驱动、热气驱动等等。(3)微型构件。作为小型或微型机器和设备的构成部分，主要包括微膜、微梁、微控针、微齿轮、微弹簧、微腔、微沟道、微锥体、微轴、微连杆等。(4)真空微电子器件。它是微电子技术、MEMS技术和真空电子学发展的产物，是一种基于真空电子输运器件的新技术，采用已有的