数字化信息化智能化在磁控溅射卧式铝镜生产技术中应用.docVIP

数字化、信息化、智能化 在磁控溅射铝镜生产线中的应用 青岛环球集团股份有限公司 刘增喜 一、概述 磁控溅射铝镜生产线，是近几年发展起来的新型设备，因其节约了大量的贵金属白银，价格较低，铝镜生产加工逐渐兴起。它从玻璃原板上片、清洗、磁控溅射镀铝膜、淋防护漆、烘干，直至成品镜片收片均为自动完成，镜片质量可媲美银镜，生产过程相对银镜更节能，更环保，且生产效率高，大大减少了人工成本及管理成本，缓解了用工荒问题，其特点如下： 智能化、数字化、自动化程度高 本生产线采用采用PLC技术、现场总线技术，实时监控镜板的输送、清洗、烘干、镀膜、收集等全过程；模块化程序控制，多台减速电机相互配合并依次顺序动作，按照设定的工艺流程完成准确的镜板输送及成镜过程；本控制系统具有一键关机功能，人性化的智能关机过程，方便操作，减少人为无操作过程。在运行过程中由精密传感器装置实时检测并反馈。使用触摸屏进行人工对话，简化了工艺调整过程，提高了工作效率；可实现手动、自动、半自动三种操作方式，大部分手动按键开关设在触摸屏内，操作安全方便。 2.打破传统镀膜工艺，镜片质量可媲美银镜，生产过程相对银镜更节能，更环保， 一直以来，传统铝镜生产过程中，使用单机蒸发镀铝镜，镜片时有出现飞溅铝点的现象，膜层厚薄不均匀；磁控溅射铝镜生产线借鉴了国际上先进的Low-E低幅射玻璃生产线的溅射镀膜技术原理和银镜生产线中防护漆的淋涂及烘干技术，经优化组合，可以生产高反射铝镜，具有无铝点，无黑点，有效的克服了传统铝镜生产过程中产生铝点和黑点的缺陷。将玻璃原片由竖直方向翻转为水平位置，根据信号传送到上吸持搬送玻璃 图1-4 升降平台落下时的外观图（图1-5） 图1-5 2、预清洗 预清洗段通常布置了几道滚刷，采用中性洗洁剂，来清除基板表面的油污、玻璃残渣、人工手印、灰尘等。 3、盘洗 盘洗是采用盘刷进行清洗，盘刷一般是由尼龙丝或猪鬃制作而成，均匀排列。清洗过程中，每只盘刷自身旋转的同时整排盘刷横向摆动，确保清洗到位。盘洗也是抛光的过程，清洗过程中必须注入氧化铈或其他抛光液，必要时加入洗洁净等碱性清洗剂对玻璃表面的油污进行清洗，经过几道盘刷的抛光，可抛出玻璃表面的老化层，产生新鲜的表面，保证玻璃表面的洁净度，有利于获得结合牢固、致密无针孔缺陷的膜层。 盘洗一般配置4~6组盘刷，每道盘刷有两排毛刷，分别正反两个方向旋转，并沿着辊道左右摆动。 4、滚洗 滚洗段一般采用3道毛刷辊进行清洗，每道毛刷辊上下对称分布。第一道采用自来水预清洗，以去除基片上的抛光剂及清洗剂，清洗后用水不予回收；第二道第三道清洗过程中注入30℃~50℃的温水，清洗用水采用去离子水（纯水），电阻率≥100MΩ，清除玻璃基板表面附着的杂质，获得洁净的基板表面，为镀膜做准备，第二道、第三道清洗用水予以回水过滤，可重复使用。 5、吹干、预热 镜板经过清洗在进入真空室时，需要使玻璃表面保持干燥，如果玻璃上残留水分或附着水雾，会严重影响镀膜质量，因此，镀膜室前必须配置吹干段。吹干段一般情况下需要设置2个风刀，第一个风刀风量比较大，须倾斜安装，可将玻璃表面及侧面的水流吹走并集中吹干，第二个风刀内安装有加热管，平直安装，风经过加热管吹出后变成热风，加快吹干进程，去除了玻璃表面附着的水雾；同时也达到预热的目的，使玻璃进入镀膜段已具有一定的温度，使镀膜液表干速度加快，以减少边部收缩，并使玻璃的温度恒定，稳定镀膜工艺，便于控制镀膜参数。由于地区不同或烘干段的配置不同，有时需要增加一个斜风刀，以加速吹干，保证工艺要求。 斜风刀的现场布置图（图1-6） 图1-6 6、真空镀膜室 真空镀膜室采用直流磁控溅射镀膜技术，其制备薄膜的原理是：在真空室充入压强0.1~10Pa的惰性气体Ar的同时，在阴极靶材下面放置强力磁铁。在高压作用下，电子在电场的作用下加速飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，二次电子受到磁场围绕靶面作圆周运动在运动过程中不断的与氩原子发生碰撞电离出大量的氩离子轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积在基片上成膜经过多次碰撞后电子的能量逐渐降低，摆脱磁力线的束缚，远离靶材，最终沉积在基片上。5×102Pa，罗茨泵启动，当1-9号真空室的真空度已达5×10-0Pa时，开启精抽泵， 4-6号真空室的真空度可达2×10-2Pa或更高时（真空度抽至越高越好），所有前级工作已完成，即可进行镀膜工作。 溅射器件系统是真空镀膜室的关键部分，用来实现把靶材沉积到玻璃基片上，主要包括阴极盖板、双平面阴极、单平面阴极、旋转阴极、溅射挡板、工艺气路、阴极电源、靶材等。溅射系统的性能关系到沉积速率、薄膜均匀性、溅射稳定性和靶材的利用率等关键问题，其中阴极的设计最为关键。 每个生产节拍的工序流程是：开外真