一种局域测量等离子体密度的微波探针法.pptVIP

利用微波点探针测量等离子体密度 指导老师：刘万东 报告人：王慧慧 内容提要 概述 微波点探针的原理 微波点探针构造和实验安排 实验结果 微波探针与双探针的比较 结论 概述 研究背景： 　 碰撞情况下，探针理论复杂； 工业上应用对碰撞等离子体密度局域测量的需要； 　 　 测量环境复杂，存在着射频影响、探针污染和鞘层问题等。 　　 已有的诊断手段 　　Langmuir探针　★ 　　　 射频补偿探针，碰撞探针，等等。 发卡型共振探针 ★ 等离子体截止探针　★ 等离子体吸收探针（PAP） ★ 等离子体传输探针（PTP） 等离子体振荡探针（POM） 发卡型探针 实验方法：通过测量探针周围介质的相对介电系数，从而得到局部的等离子体密度。 利用共振原理 适用范围： 　 1) 无磁化冷等离子体 　2) 密度1010～1012cm-3 空间分辨率：探针的几何尺寸，为厘米量级 需要进行鞘层修正 截止探针 实验方法：利用微波扫频，当微波频率等于等离子体频率时，出现截止现象。 适用范围： 　1）无磁化等离子体 　2）密度范围取决于扫频的频率范围 空间分辨率：取决于两针间距。 吸收探针（PAP） 实验方法：当ｄ=ｎλ/2时，利用空腔内发射波与反射波叠加形成驻波，扫频出现吸收峰来进来诊断等离子体密度。 适用范围： 　　 n:　5×109　～5×1012 cm-3 p: 3mTorr ～1 Torr 空间分辨率：厘米量级 等离子体传输探针（PTP） 等离子体振荡探针（POM） 实验方法：利用热阴极灯丝，发射电子束，当电磁波频率等于等离子体频率时，发生振荡。 适用范围： p: 0.01pa ～1 pa 空间分辨率：1cm 缺点： 　1）灯丝寿命短 　2）气压范围低 　3）引入金属污染 电磁波在非均匀等离子体中的传播模型 模型：电磁波在非均匀等离子体中的传播。 计算结果表明电磁波传输系数S21随位置衰减得很快。 趋肤深度δ一般只有几个毫米。 电磁波传输系数　 在频域图上出现分界点。 实验安排 放电位形 探针结构 凹腔型射频放电管产生等离子体。 真空室尺寸：150cm×120cm。 放电放形：与发射天线口平行。 探针位置：两管中垂面上。 等离子体密度 　　n:　1010　～1013 cm-3 气压：100pa ～600pa 发射天线的频率范围 ：4.64GHz～7.05GHz 微波在等离子体中的传输系数 时域：S21指数衰减。 频域上，放电后 　在　　　　时，扫频曲线出现分界点 。此时的临界密度即为等离子体密度。 微波在等离子体中传播：S21随空间的变化 微波点探针在不同位置处的分界点都很明显，可以做到当地点的绝对测量，且不受其它因素影响。 微波在过临界密度等离子体中传输时出现截止现象，利用其传输性质能够得到得到密度。 空间分辨能力达到2mm 微波进入等离子体后迅速衰减 扫频图象上，固定频率时， S21随位置的变化曲线 利用步进电机，在点频测量过程中，S21随位置的变化 两种实验方法下，两种情况下，传输系数随位置的变化，迅速衰减，基本一致。 趋肤深度约5mm。 分界点处为等离子体临界密度。 微波衰减的特征标长为理论值的2倍。 利用微波在等离子体中传输性质得到等离子体密度 此测量为密度的绝对、局域测量。 对微波的传输系数进行分段拟合，交点处即为 空间分辨能力可以达到2mm。 等离子体密度及其剖面 　 不同气压下，微波探针和双探针测量所得密度比较 测量气压： 　100pa、150pa、　　　　　 200pa、300pa、400pa、500pa、600pa 两种测量方法所得到的密度，密度剖面一致，量级相同。 实验展望：微波点探针在大气压下测量等离子体密度 在大气压条件下，欠缺有效的等离子体诊断方法，且νωpe,由截止频率得到等离子体的方法不再适用。 在强碰撞情况下，　　　　　　,此时等离子体与导体类似： 实验展望：对电磁波通过的等离子体层的不同位置的衰减做点测量，可得等离子体密度分布剖面。　 结论 利用微波点探针，对双管射频放电等离子体密度及其剖面进行了测量，并与双探针的数据进行了比较。 微波点探针并且避免了双探针的鞘层影响、电位干扰、表面污染等问题，做到了等离子体密度的绝对测量。 适用气压范围较大。 空间分辨能力高。 可将微波点天线测量等离子体密度作为定标其它诊断手段的一种方法。 谢谢！ 趋肤深度δ 　　　　　　时，微波在等离子体中不能传播。 理论上,氩气与中性气体的动量转移碰撞频率