温度对膜的影响.docVIP

沉底温度对膜的影响 对膜结构的影响 （AZO透明导电薄膜的制备[J],电子元件与材料，山西科技大学，2012,） 衬底温度对薄膜结晶性能的影响显著。基本上随衬底温度的升高，膜的结晶质量变好。 当基底表面温度较低时，粒子的迁移率较低，形成的薄膜密度低、多孔、表面粗糙。 随着基底温度的升高，沉积粒子可获得足够能量沿表面和体内迁移，与其它粒子相结合形成晶体，晶体生长速率加快，晶粒变大，薄膜洁净度提高。 但薄膜的结晶程度不会随着基底温度的升高越来越好，温度过高，薄膜的结晶程度反而有所下降趋势，这是因为温度过高时晶核生长过快，刚溅射而成的薄膜还未及稳定形成时新的粒子又沉积下来，影响了其致密性。本实验中，基底温度200℃时所形成的AZO薄膜，其内应力就大于基底温度为150℃时的样品，结晶情况稍有下降。 对膜表面形貌的影响 （AZO透明导电薄膜的制备[J],电子元件与材料，山西科技大学，2012,） 随着衬底温度的升高，晶粒尺寸逐渐增大，晶粒趋于均匀，薄膜生长更紧密， 在室温时薄膜取向性差，为表面多孔且非常粗糙的非晶结构薄膜， 随着衬底温度的升高，薄膜表面原子团的动能增大，原子团的迁移能力提升，迁移能高的粒子在衬底表面更容易运动，有利于晶核择优生长，产生大而均匀的晶粒，薄膜表面变得致密。 但衬底温度过高(300 ℃)时，所沉积的AZO 薄膜在各个方向上出现自由生长，晶粒