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单晶炉热场结构
内容 1.热场结构 热场的结构示意图;各部件介绍 2.热场的安装和煅烧 热场的安装;热场水平与中心调整;热场的煅烧 3.热场的温度梯度 热场的概念;温度梯度的概念; 静态热场的温度分布;动平衡态热场的分布 晶体生长的温度梯度:径向温度梯度与纵向温度梯度 一、热场结构 热场的优劣对单晶硅的质量有很大影响。合适的热场,能够生长出高质量的单晶。不好的热场容易使单晶变成多晶,或者根本无法引晶。有的热场虽然能够生长单晶,但质量较差,有位错和其它结构缺陷。因此,找到较好的热场条件,配置最佳的热场,是非常重要的直拉单晶工艺技术。 热场有大有小,它是按照所用的石英坩埚的直径大小来划分的,目前国内热场从¢12″~ ¢28 ″都有,但以¢18″~ ¢22″居多。 一、热场结构 直拉单晶炉的热系统,也就是所谓的热场,是指为了熔化硅料,并使单晶生长保持在一定温度下进行的整个系统。 热场一般包括压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。 热 场 示 意 图 加热器 加热器是热场中很重要的部件,是直接的发热体,温度最高的时候可以达到1600℃以上。 常见的加热器有三种形状,筒状、杯状、螺旋状。目前绝大多数加热器为筒状,硅单晶分厂CZ1#厂房使用的是直筒式形状的加热器。右图为加热器。 加热器 一般情况下,加热器是高纯石墨加工,每个半圆筒各位一组,纵向开缝分瓣,组成串联电阻,两组并联后形成串并联回路。 右下图是倒立的加热器,由图可知,在加热器下面有两个清晰的连接孔,这些孔是用来连接石墨电极。 石墨电极 石墨电极的作用,一是平稳的固定加热器,二是通过它对加热器输送电流,因此要求电极厚重,结实耐用,它与金属电极和加热器的接触面要光滑、平稳,保证接触良好,通电时不打火。石墨电极也是有高纯石墨加工而成。 右上图为石墨电极示意图、右下图为连接石墨电极和加热器的石墨螺栓。 石墨坩埚、坩埚托杆和坩埚托盘 石墨坩埚,也就是所谓的三瓣埚,主要是用来盛放石英坩埚。它的内径加工尺寸与石英坩埚的外形尺寸相配合,同时,石墨坩埚本身也需要具有一定的强度,来承受硅料和坩埚的重量。 石墨坩埚,有单体,两瓣合体,以及CZ1#所使用的三瓣合体等不同形状。它们从节约成本、使用方便来比较各有所长。右图为三瓣埚的实物图。 石墨坩埚、坩埚托杆和坩埚托盘 坩埚托杆、坩埚托盘共同构成了石墨坩埚的支撑体,要求和下轴结合牢固,对中性良好,在下轴转动时,托杆及托盘的偏摆度≤0.5mm。 支撑体的高度是可以调节的,这样可以保证熔料时,坩埚有合适的低埚位,而拉晶时,有足够的埚跟随动行程。 保温罩 保温罩分为上保温罩、中保温罩和下保温罩。 保温罩是由一个保温筒外面包裹石墨碳毡而成。石墨碳毡的包裹层数视情况而定。 下保温罩组成了底部的保温系统,它的作用是加强埚底保温,提高埚底温度,减少热量损失。 保温罩 中、上保温罩的作用也是为了减少热量的损失。只不过保温罩外面的石墨碳毡的层数不一样,这样使得温度梯度不一样。 排气的方式有上排气和下排气。CZ1#厂房现在使用的比较多的是上排气。这样,上保温罩上面就存在几个排气孔,这些排气孔保证在高温下蒸发的气体的排出。 保温盖、导流筒 保温盖由保温上盖、保温碳毡和保温下盖组成。即两层环状石墨之间夹一层石墨碳毡组成,其内径的大小与导流筒外径相匹配,平稳的放在保温罩面板上。 导流筒,由内外筒之间夹一层石墨碳毡组成。导流筒主要是为了控制热场的温度梯度和引导氩气流。 压环 压环,由几截弧形环构成的一个圆形环状石墨件,它放置在盖板与炉壁接触处,是为了防止热量和气体从炉壁与盖板的缝隙间通过。 右上图是压环,右下图为安装后的效果图。 二、热场的安装与煅烧 (1)安装前 安装热场前,尤其是新热场,应仔细擦拭干净,去除表面浮尘土,检查部件的质量,整个炉室在进行安装热场前也必须擦拭完毕。 (2)安装 安装顺序一般是由下而上,由内到外。 石墨电极安装时,左右对齐,处在同一水平面上,不可倾斜,同时要和托杆对中。 放上加热器之后,加热器的电极孔要与下面的电极板的两孔对准。 二、热场的安装与煅烧 安装电极→炉底碳毡→反射底板→下保温罩→石墨环、石英环→加热器→中保温罩→石墨托杆→石墨托盘→装三瓣埚→下降主炉室→上保温罩→导气孔→保温盖板→装导流筒→压环 二、热场的安装与煅烧 (3)对中顺序 在整个安装过程中,要求整个热系统对中良好,同心度高,需要严格对中: 二、热场的安装与煅烧 ②加热器与石墨坩埚的对中:转动托碗,调整埚位,让石墨坩埚与加热器口水平(此时的埚位成为平口埚位)
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