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一般氣體配管工作程序 供输半导体级一般气体之配管工作程序 1． 适用范围 本程序乃适用于半导体生产工厂中所安装的供输一般气体用之配管工作。 2． 气体管路的种类 GN2，PN2，PH2，O2，PO2，HE，Ar，PHe，Par，CDA，PH2 3． 工作范围 在这里所定义的管线涵盖为由各种不同气体的起始流出点至连接各生产机器设备的气体管线为止。 1）分段点 a） 主管路（Main）为由气体的超始流出点（Gas yard）至无尘洁净室中的第一组分支阀 （Main Line）为止。 b） 次管路（Submain）乃指由无尘洁净室中之第一组分支阀至第二组分支阀（Submain Line）止。 c） 第二条管线由第二组分支阀开始至生产机台设备处为止（Hook up）。第二条管线装 配在二次板（PANEL）上，其上配有气体关闭阀组、气体过滤器及压降阀等，而所 有配备均需配置在连接于生产机器设备之管路的上游部分。 2）压缩干空气（CDA） 对压缩干空气而言，其管路在气体流出点处需配有一干燥空气出口之过滤器，整个管线一直完成至生产机器设备的连接点为止。 3）氮气（N2） 必需提供两条氮气管线： a） 经纯制之氮气（PN2）管线：其配管工作由生产机器设备的连接点一直完成至氮气纯 化器的上游分支处为止。 b） 一般氮气（GN2）管线：其配管工作由氮气精致设备的出口直到纯化器的连接点为止。 4）氧气（O2） 必需提供两条氧气管线： a） 经纯制之氧气（PO2）管线：其配管工作由生产机台设备的连接点一直完成至氧气纯 化器的上游分支处为止。 b） 一般氧气（GO2）管线：其配管工作由氧气精致设备的出口直到纯化器的连接点为止。 5）氢气（H2） 必需提供两条氢报管线： a） 经纯制之氢气（PH2）管线：其配管工作由生产机器设备的连接点一直完成至氢气纯 化器的上游分支处为止。 b） 一般氢气（GH2）管线：其配管工作由氢气精致设备的出口直到纯化器的连接点为止。 6）氦气（He） 必需提供两条氦气管线： a） 经纯制之氦气（PHe）管线：其配管工作由生产机台设备的连接点一直完成至氦线纯 化器的上游分支处为止。 b） 一般氦气（GHe）管线：其配管工作由氦气精致设备的出口直到纯化器的连接点为止。 7）氩气（Ar） 必需提供两条氩气管线： a） 经纯制之氩气（PAr）管线：其配管工作由生产机器设备的连接点一直完成至氩气 纯化器的上游分支处为止。 b） 一般氩气（GAr）管线：其配管工作由氩气精致设备的出口直到纯化器的连接点为 止。 4． 工作环境 在工作现场需配有一临时性洁净棚，且所有配管工作的操作基本上必须在此区域内完成，以 避免一些不当的污染。此洁净棚必须维持且控制在以下的环境条件下： 1）临时性洁净棚（由业主提供场地，承包商搭建） a） 微尘数目（静态数，粒子大小0.3um者） 位置 洁净度 库房 10000 切割工作区域 10000 焊接工作区域 100 b） 条件：于焊接工作区域内，其温度为21℃，相对湿度则为65%。 c） 气流：每小时循环5~10次。 d） 环境：此洁净棚需足以阻绝微粒、油污及其他外来物质。 2）如何控制洁净棚内的气压 a） 借由棚内空气的循环与过滤可以控制微粒多寡。 b） 在此区域工作的工作者需穿着无尘衣鞋。 5．工作完成之标准 1）焊接工作 a） 两条管线的尾端焊接主要利用自动焊接机来完成。 b） 大于15A的管子需使用90°的弯管，小于1/2的管子则需使用弯管器。 c） 自动焊接机的状况可借由制作测试用样品片来检查；至少每天做两次，于早晨与下午 焊接工作开始之前。 2）气体管线材料的处理 a） 管线与零件的清洁：所有的管子与其零件需于制造后以管帽盖住开口处、封装外， 始可运送至现场；任何管子与零件在弯管、切割及焊接诸如此类工作之进行前，需确 定其清洁度可维持的情形下始可拆封。 b） 氩气冲刷：在装配好个别的预作管线且摆放好后，每一单位均需以氩气冲刷干净。 3）纯度提升的方法：用纯氩气来喷洗管线内部。 4）配管完成后的检查： a） 外观目检：附表 b） 焊接点目检：附表 c） 锁入配件目检：附表 d） 压力/侦漏检验：附表 e） 微尘测试：附表 f） 纯度测试：附表 5） 预先允诺管线行径路线：