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第五章 太赫兹成像 太赫兹(如可见光、X射线、中近远红外、超声波等)一样，可以作为物体成像的信号源。自从美国的Hu和Nuss等人在1995年首次建立起国际上第一套太赫兹太赫兹ATT Bell实验室和IBM的T.J.Watson Research Center率先实现的，现在，随着飞秒激光器的广泛应用，这种方法也变得越来越流行。结合更多的传统的远红外研究方法，这种新型的太赫兹源已经显示出其在光谱学中的价值。不仅如此，由于超短太赫兹时域脉冲的频谱宽，并且这些太赫兹脉冲与飞秒脉冲具有固有的同步性，这一性质使得一些新方法得以采用，而且是其他方法无法实现的。例如采用光泵浦太赫兹探测的太赫兹时间分辨的测量，太赫兹发射光谱和相关光谱的测量。Nuss和Orenstein最近报道了利用THz-TDS研究固体系统的方法；此项工作包含了大量的线性光谱和其它技术的实例。THz-TDS同时也被用于研究气体，其中最值得关注的是Grischkowsky与其合作者的工作。 1995年，Hu和Nuss首次将THz-TDS技术用于成像。这激起了同行及公众对此项技术的极大兴趣，并关注这种光谱仪一系列的新的、有价值的应用。基于太赫兹辐射的独特性质，再加上系统能够在合理的时间内成像，已经有大批的应用领域被预见，涉及领域从生物医学诊断到包装食物产品的水含量监测和封装的集成电路的故障检测。这一章，我们将回顾一下从太赫兹成像首次报道以来的快速发展。我们将通过对一些不同实例的描述，来阐明这项新成像技术能够完成的工作及它的一些局限性。本章内容不是创建太赫兹成像系统的指南，有许多不同的系统配置已经被应用，在这里就不做重复了。我们将描述一个典型的系统，强调一些对各种成像模式都很重要的属性。 图 5-1：透射式太赫兹时域成像系统的示意图。样品放在中聚焦平面上，可以在两个维度上扫描图像信息。 图 5-1是一典型的透射式太赫兹时域成像系统的示意图。这套系统包括飞秒激光器、光学延迟台、光门控太赫兹发射极、用于准直和聚焦太赫兹光束的光具组、成像的样品、光门控太赫兹接收机、电流前置放大器和数字信号处理器。这套装置基本保留了1989年首次报道的太赫兹-TDS系统的基本特征。当然，也有许多的改进，其中一个最具意义的改进就是这些改进后的系统可以进行成像应用。在1995年，Hu和Nuss首次将太赫兹-TDS系统发展成太赫兹时域成像系统，他们利用快速扫描的光学延迟装置和DSP进行数据收集。之后，一些人又在太赫兹发射和探测天线上增加电极结构。下面我们对这些关键组件的目前发展动态进行简单的叙述。 5.1.1 飞秒激光源 在太赫兹领域，绝大多数工作都使用800nm的近红外锁模钛蓝宝石激光器。这种激光器的使用之所以如此广泛主要是因为它的激光参数，包括脉冲的时间宽度、波长和输出功率，都非常适合驱动GaAs衬底和辐射损伤蓝宝石上硅（RD-SOS）的太赫兹发射极和探测极。这种激光器能够保证极好的脉冲-脉冲的重复性和长期的稳定性，并且操作也相对比较容易。事实上，THz-TDS系统的首部商业版已经于2000年一月问世，它就是基于锁模钛蓝宝石激光技术的。 尽管用锁模钛蓝宝石激光技术所取得的成就让人难忘，但是出于以下几个原因，人们对其它不同飞秒激光源的应用仍有很大兴趣。首先，相对于其它飞秒激光器来说，尽管典型的钛蓝宝石激光器具有良好的噪声性能，但是在太赫兹波形的测量中，噪声仍是一个限制因素。其次，钛蓝宝石激光器对准直光路的微小变化十分敏感，因此一些无法避免的机械振动对它的影响不可忽略。为了创建一套便携式的太赫兹成像系统，要求有一种更加牢固的飞秒激光器。锁模光纤激光器可能是一种非常理想的替代品，这种激光器的光脉冲完全在一根光纤中传播。这种激光器现在已经可以商业购买，同时，有相当数量的研究工作是为了发展基于这种波长～1550nm的光纤激光器驱动的太赫兹发射和接收天线。这将不能再使用传统的GaAs，因为激光光子能量低于材料的带隙宽度。不过已经有大量的候补材料被报道，包括GaAs-based ternary and quaternary alloys、InAs、和内植离子的锗。 5.1.2 光学延迟平台 THz-TDS系统要求在两束光之间实现均匀的时间延迟变化，这样可以改变取样门与太赫兹波形的交叉点，从而对波形的这一点进行取样。这种通过改变其中一束光的光路长度而达到改变相对延迟的方法几乎在所有的实际操作中都适用。通常要将延迟装置安装在泵浦光路，这是因为探测光路对光线的准直更敏感一些，因此，尽管在应用不同的天线结构时泵浦光路的灵敏度有所差异，但是总的来说还是探测器对探测光准直度的要求要比泵浦光相对发射极的准直度的要求要高的多。这种光学延迟通常可以用一个机械扫描台配合一对反射镜来实现。当然也可以使用较慢速的步进电机