空气轴承精细铜管内表面凹槽的微加工.doc

空气轴承精细铜管内表面凹槽的微加工 俊之崛内*，优弥铃木 （东京电机大学，日本 东京 足立区 千住朝日街5号 120-8551） 摘要：激光扫描及光刻技术在小管径管道内表面上的应用，曾被人在加工空气轴承精密凹槽时研究过。利用激光直写及光刻技术和后续的电解蚀刻技术在内径为2毫米的铜管内表面上精确地形成一道预定宽度为28微米的狭长带，这样就产生了凹槽。将管道切割制造成轴承套管，然后带有空气轴承套管的轴就加工完成了。在其中插入一根空心铝合金轴，轴就由安置在两端的空气轴承和电磁推力轴承来支撑。然后通过鼓入空气，轴可以在超过20000rpm的高转速下平稳旋转。应用传统加工技术，难以在这种精细管道的内表面