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长晶操作培训教材 培训目录 更换泵油及过滤器 清炉及热场组立 投料 抽空、检漏 送电熔料 As、Sb掺杂及补掺作业 试温、引晶 放肩、收肩 收尾 冷却、晶棒取出 表单填写及认识 晶棒量测及记录 埚底料分装 位错判定 隔离操作 吊渣作业 直径信号调整 埚位校正 紧急停机处理 更换泵油及过滤器 更换过滤器芯 长晶炉关闭功率3小时后，关闭主阀门、泵，打开管路泄压阀，每炉更换过滤滤芯及加泵油。吸净排气管口的污物，打开抽气手动阀，打开过滤器箱盖，取出过滤器，用压缩空气冲洗抽气管道。用白棉布倒上酒精，擦干净过滤器箱内壁；安装新的过滤器芯，拧紧；把过滤器箱密封圈取出，用酒精擦净密封槽、密封圈（注：密封槽没擦干净，有异物的话，可能回造成密封圈的损伤，造成漏气，而抽不上真空）；安装完成后，用棉白布擦净过滤器箱的盖板，锁紧螺丝。关闭抽气手动阀。更换过滤器芯完成 废过滤器芯的处理办法 目的：由于从泵上拆下的过滤滤芯温度太高，容易引发火灾，为了杜绝火灾发生，对拆下的过滤滤芯作出严格管理流程。 规定动作： 从过滤筒上拆下过滤滤芯，放入指定的金属槽内。 把金属槽放满自来水，等到过滤滤芯浸泡5分钟后，放干槽内的水。 取出过滤滤芯，放入公司指定的工业垃圾筒内。 真空泵换油 每次停机后，检查真空泵油情况，及时加油，如油污浊则及时换油,轻掺3炉换一次，重掺2炉换一次油。 换油或加油时，加到油位窗的2/3处，不能加得太多或加少。 注意观察罗茨泵的油量，及时加油。 注：换油、加油或者更换滤芯在检点标上打“v”并签名。 清炉及热场组立 清炉作业: 1.定 义: 1.1长晶炉冷却后，必须清理废料及炉内残余物至重新组立的过程。 2.目 的: 2.1将长晶炉内的杂质清除，做重新投料前准 备，以确保长晶炉的成长顺利。 3.人 员: 2人 4.工 具: 4.1手推车、吸尘器、加热器固定把手，白铁埚。 5.材 料: 5.1毛刷、棉白布与无尘布、酒精、一次性专用手套、口罩、石棉手套。 6.作 业: 长晶炉关闭功率3小时后，开始清炉： 6.1将炉体充气，打开拉升舱门杆，待气灌至常压后将单晶棒上升至隔离阀门以上。 6.2关闭隔离阀，下降晶棒尾端至离阀门约5~10cm的位置取出单晶棒（使用晶棒夹车，参阅晶棒夹车取出作业），并清理拉升舱。 6.3 关闭拉升舱门，并上升炉盖。 6.4 将炉盖移动至定位。 6.5 将手推车推至定位。（并在机台边缘铺上橡胶布或纸板，防止地面脏污） 6.6 戴上防热用的石棉手套，将热遮板取出，取出Ar气清净套筒。 6.7 将已经破裂之石英坩埚取出，移至石英坩埚 废置桶。 6.8 将埚底的残料取出置于白铁埚内，待其冷却 后移至废料弃置桶。 6.9 移出石墨坩埚于手推车上。 6.10 上升炉体，并将炉体移至定位，并下降至定位，将机座上的密封圈用绝缘胶带贴上，以保护炉体密封圈。 6.11 移出坩埚支撑盘于手推车上 6.12 用坩埚轴把手，将坩埚轴取出，置于手推车上。 6.13 将手推车移至一旁，待石墨部件冷却。 6.14 待部品稍微冷却约30min后，开始清理（可优先清理炉盖）。 6.15 吸尘器软管接上毛刷头后，先清除炉盖上的气体灰尘后，再用白螺纹布与无尘布沾酒精擦拭干净。 6.16 清除炉体及基部的气体灰尘，并以棉白布与无尘布沾酒精擦拭干净。 6.17 以砂皮和白洁布清理加热器。 (以下继续为炉体大清作业) 6.18取出加热器固定螺丝。 6.19 两人作业，将加热器搬移至一侧白铁板上。 6.20清理下部绝缘档板、支撑柱、支撑柱底盘及6.21取出防漏板和支架，以及其它石墨器件用砂皮清理干净。 6.22取出电极石英套筒，并将之清理干净。 6.23取出电极护环，以砂皮清理。 6.24以毛刷头将底盘保温石墨棉清理干净。 6.25移出底盘保温石墨棉。 6.26清理机座，并以棉白布与无尘布沾酒精擦拭干净。 6.27移出石墨保温上部环，并清理之。 6.28清理石墨保温内筒。 6.29移出石墨棉保温外筒。 6.30移出石墨棉保温内筒。 6.31移出石墨棉保温筒下部支撑环。 6.32用白洁布将炉体内壁清理干净。 组立作业: 1.定 义 : 1.1所谓组立是指机械完成作业或维修后重新进入另一个新的成长作业模式的准备工作。 2.工 具 : 2.1棉纱手套,酒精,棉白布与无尘布,吸尘器,刀片,石墨垫片,坩埚轴把手,加热器螺丝固定把手。 3.人 员 :两人。 4.作 业 流 程 : 4.1检查电极与电极固定螺帽间之石墨垫片，有无突出o(因石墨垫片受螺