纳米金刚石镀膜.docVIP

纳米金刚石镀膜 纳米金刚石镀膜，是一种源于太空技术的镀膜技术。该技术生产的纳米级非晶金刚石薄膜最薄可以达到2纳米，金刚石结构SP3的含量超过80％。这样的薄膜具有天然金刚石的许多优异特性：它生成的薄膜具有超硬、耐磨、高绝缘、高导热率、摩擦系数低、膜层均匀、致密度高、耐腐蚀和附着力高等特点，薄膜还具有无色透明，对材质的光学特性基本不产生影响的优点 是一种源于太空技术的镀膜技术，具有如下特点： 高硬度，国内国际的多项测定表明，纳米压入仪测定的硬度达到80GPa（HV8000）,经由纳米金刚石镀膜的工具及产品，硬度远远大于未经镀膜的； 镀膜与基体的结合度极高，不会产生镀膜层脱落； 摩擦系数低至0.092-0.105（对金属钢）； 耐磨性能急速提高。许多材料经镀膜后，耐磨性可提升100倍以上； 5、耐腐蚀性更好，纳米金刚石涂层具有化学惰性，例如，覆有100纳米金刚石涂层的电镀件，可经受300小时的盐雾试验，不出现腐蚀变异。 这种太空技术基于金刚石诸多优异的力、热、光、电等性质，优良的化学惰性，很好的热稳定性等，在机械、光学、电子学及声学等领域有着广阔的应用前景，但是其数量稀少且价格昂贵，在现实中的应用是十分有限的。上个世纪80年代初苏联的Spitsyn 和日本的Matsumoto 等人发明了低压气相合成金刚石膜技术，用该种方法制备的金刚石薄膜，其性能接近天然金刚石，因而金刚石薄膜一经问世就迅速达到商业化应用的水平，从而在世界范围内掀起了研究金刚石薄膜的热潮。经过20 多年的研究，金刚石薄膜在机械加工领域已经获得成功应用，尤其是在切削领域，如使用金刚石薄膜后的刀具可显著延长使用寿命。随着光学玻璃抛光工艺不断向前发展，对抛光材料的选取有了新的要求，纳米金刚石具有高硬度、高耐磨性、低摩擦系数等优点，具备良好的磨削性能因而金刚石薄膜应用于精细抛光领域　　图1 分别是微米金刚石膜和纳米金刚石膜的低倍和高倍SEM 照片。可以看出微米金刚石薄膜表面相当粗糙，微米金刚石薄膜晶粒具有明显的择优取向，晶粒堆积在一起导致薄膜表面出现许多突出的棱角，因而薄膜表面较为粗糙；而纳米金刚石薄膜晶粒得到细化，无明显的择优取向，晶粒尺寸15~20 nm（图1，d），纳米晶粒聚集在一起形成一些微米级的小块（图1，c），由这些微米级的小块形成金刚石膜的表面，因而表面平坦。 图1 薄膜表面SEM照片 　　图2 分别是微米金刚石膜和纳米金刚石膜的断面SEM 照片。从图中可以看出二者组织结构明显不同。 图2 薄膜的断面形貌 　　微米金刚石薄膜是一种柱状组织结构，薄膜与衬底表面呈犬牙交错型（图2，a），这种薄膜表面粗糙度较高，这与图1 得到的结果是一致的；而纳米金刚石薄膜是一种类似于细沙堆积起来的结构，薄膜与衬底间近似一条直线，从断面形貌来看，纳米金刚石薄膜表面是平整的，薄膜表面较平坦，这与图1 得到结果是一致的。