双光干涉法测sio2层厚度及p-n结结深简析.pptVIP

双光干涉法测度 层厚度及p-n结结深 实验十二 双光干涉法测sio2 层厚度及p-n结结深 实验概述 实验原理 实验系统 实验步骤 数据处理 实验重难点 实验概述 双光干涉法是测量薄膜厚度常用的方法。即可以测量透明膜也可以测量非透明膜,有很大的应用价值，绝不只限于本实验实施的范围. 本实验测量 和p-n结结深，要求学生掌握其测量原理和方法。 掌握膜像的观察和识别方法. 实验原理 1. 透明劈尖双光干涉法(以二氧化硅为例) 入射光分别在氧化层台阶表面和 界面处反射,形成相干光.利用光干涉原理可以得到二氧化硅层的厚度 N表示干涉条纹数量,n为 折射率 N的读法参考课本110页 2.空气劈尖双光干涉法 此方法用来测量非透明膜厚,以测量p-n结结深厚度为例.相关理论参考课本110-111页. 3.本次实验着重要求掌握6JA型双光干涉显微镜的原理及操作方法.在实验系统栏里有详细介绍. 实验系统光路原