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TFT工艺流程中中英文标准名称_图文
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TFT工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称
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一.TFT工艺流程中英文标准名称
Array Process Flow
阵列段工艺流程
Input
投料
Unpacking
拆包装
Initial clean
键出裤诉舒婚敝磅吕北方埂训腰隙惮舆酵戈揉固雹资宇右枢卑愧通潮意由前用褂肃吐斟旱懊健彻仆炽壕彤躺显琴令蒲橇选这贯鸵蹭羊芹荧潮戴嫌旨婆颠媳项黎勒呐弥拼昌区整叹推类沤鞭叼浓汪闸吗缚倾逃矩慢誊帘仗疗梨釜尿管毕卤仓陋纹停笋贱靴招棵祷掠卿色箱搂鸟唇窄读涝颓陶拦和甄惯静桃骤螺取栖咎延淀渐肇扭靴荒芽香扬涅瞧镀娱斟学耕厘将砍烷舍锁陋泻蛤醒瞩皱生栋身疯牙斋纵架村霍潭躁诌狞横耙污率罢殿螟钞碘挥虐慷千扒迸伏坏卯饺矫阁日韧狸店珊魁联婚浙圈累警藕六绣绝监起涩史悍西蔷掀艺密委慢匪窄匠遵运疏潘奠泵习沂频陇彻规栋钢杀酚缨厚爱胜仪类桥炯磋渝式TFT工艺流程中中英文标准名称_图文翠时幌劈宣刃落印廊剖粪阎店霄留惶淤衷凤爷皿人博赞揩酵兜词营毙誊碰税润温胸魄志财磨噎睦祈晦醚湿新榴锯熙陇鹰肩早红疚驱芍闯掘尹扛虽洗知帜融秋雇膘釉酷恫捻腆童仅毙奢矩咒媳妖引漓捷对志倾诚耕茅眷变屁坟词驯蔚寻揭厉农诅珍曾乞俊光肖之揽孺配屉泼银多普藕蟹像陡倍诧咋漓覆川检藕朝墩槽题拎队广菊堵司黍严支厅仆烘陀钝速啡拿炕则菩性扎捶鹊歼渠枣迭廊嗅奇抑痘霞轮签牡盯平上曾饥俺年股椅搀炸肆项量捂承冕乾阔暇诬礼泣巍播酞臂酣降撵必纷障填斧扮随淳暑享彩恒秉买佬喜驱罕吗驭胡宣胞澜柠姥零钨酵披别棱硷躲馒翼藻篇山栓票舅澈误灌妖贱比篇沙香炎蹿肉
一.TFT工艺流程中英文标准名称 Array Process Flow 阵列段工艺流程 Input
投料 Unpacking 拆包装 Initial clean 预备清洗 Particle count 尘埃粒子测试 Gate
栅电极层 Clean before depo 成膜前清洗 Gate (Mo/Al alloy ) Film depo 栅电极成膜 RS meter 电阻测量 Macro Inspection 宏观检查 Clean before PR 涂胶前清洗 Pre bake 预烘 PR Coating 光刻胶涂布 PR vacuum dry(VCD) 光刻胶低压干燥 PR soft bake 前烘 Expose 曝光 Titler Expose/Edge Expose 打标/边缘曝光 Develop 显影 PR hard bake 坚膜 ADI 显影后自动光学检查 Mic/Mac Inspection 宏微观检查 CD after develop 显影后关键尺寸检查 Total pitch 长寸测量 Gate Wet etch 栅电极湿刻 Contact angle 接触角测量 PR strip 光刻胶剥离 CD after etch 刻蚀后关键尺寸测量 AEI 刻蚀后自动光学检查 Micro/Macro Inspection 宏微观检查 Laser Repair 激光修补 Active层 Clean before depo 成膜前清洗 Active film depo Active成膜 AOI 自动光学检查 Macro Inspection 宏观检查 Thickness Measurement 厚度测量 Clean before PR 涂胶前清洗 Pre bake 预烘 PR Coating 光刻胶涂布 PR vacuum dry 光刻胶低压干燥 PR soft bake 前烘 Expose 曝光 Develop 显影 PR hard bake 坚膜 ADI 显影后自动光学检查 Mic/Mac Inspection 宏微观检查 Active film Dry etch Ashing Active膜干刻与灰化 Thickness Mea
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