科学方法摘要.ppt

材料科学的研究方法Instrumental Analysis in Materials Science 引 言 为什么要学习研究方法研究对象的需要------控制材料的制备和性能专业培养的要求------培养的是高级专门人才 研究方法课程涉及的内容 所有与材料的表征问题有关的方法  注重的问题： (1) 材料的成分  (2) 材料的结构 (3) 材料的性能 引 言 材料研究方法的一般特征 引 言 提倡的研究方法 创新的精神 多方法的结合运用 吃苦的准备 合作的精神 本课程的授课特点 有选择性地介绍某些常用方法 介绍方法的原理和应用范围，而不强调细节 材料科学的研究方法 授 课 内 容（最常用的研究方法） SEM / EPMA / EDX / WDX AES / XPS (ESCA) MS / SSMS / SIMS / LMMS RBS/ISS(LEISS)/ERS(FRS) SPM ：STM / AFM / MFM / NSOM / SThM / Confocal optical microscopy 授 课 内 容（最常用的研究方法） FIM / AP / IAP GD-OES/XRF/PIXE/NRA/PIGE M?ssbauer Spectroscopy 参 考 书 目 马如璋等，材料物理现代研究方法．冶金工业出版社，1997. R.E.Whan et al, Materials Characterization, Metals Handbook，Vol.10, 9th Edition, ASM, 1986. D.Brune et al, Surface Characterization, Wiley-VCH, 1997. J.B.Wachtman, Characterization of Materials, Butterworth-Heinemann, 1993. 第一讲 SEM / EPMA / EDX / WDX （扫描电子显微镜） （电子探针微区分析） （x-射线电子能谱） （x-射线电子波谱） 光学显微镜的原理 光学显微镜的不足之处 放大倍数的极限： ? 2000? 分辨率的极限： ? 0.2?m （可见光照明） 景深的极限： ? 0.1?m （要求金相准备） 不能分析化学成分 SEM的解决方法 用波长较短的电子波为光源 (25kV时?=0.007nm ) ? 10-100000?, 5nm 扫描方式导致长物距 ? 数十 ?m （1000 ?时，不要求金相准备） 分析电子束诱发的原子内层电子跃迁产生的特征x-射线 SEM的结构 SEM的扫描成象 SEM中产生的信息 电子：二次电子 背散射电子 俄歇电子 x-射线： 特征x-射线 连续x-射线 通道花样 样品电流 其他 SEM产生的x-射线谱 x-射线谱的标定规则 特征x-射线的能量与原子序数 SEM产生的x-射线谱 x-射线能谱的Si(Li)探测器 Ti合金的x-射线能谱 超薄窗口获得的Al-Si合金的x-射线能谱 x-射线波谱仪 EDX / WDX的比较 EDX / WDX的比较 SEM产生的电子谱 SEM中各种电子的产额 SEM中电子信号的探测 ——电子收集器 SEM的二次电子象衬度——拓扑衬度 SEM的景深 ? WD / d / M 电子的逃逸深度 电子的逃逸深度 电子被原子的散射几率 SEM三种模式的分辨本领 SEM的其他工作模式 通道花样——晶体学取向 样品电流——与背散射电流互补 磁畴衬度——洛仑兹力 电压衬度——半导体器件的电位分布 电子束诱发电流——电子束产生载流子 阴极发光——电子束产生可见光发射 其他——点、线、面信号处理技术 钒单晶的（111）通道花样（背散射电子） 矽钢片的磁畴（背散射电子） SEM的应用：比光学显微镜分辨率更高 SEM的应用：结构分析与成分分析结合 SEM的应用： 二次电子(左)与背散射电子象(右) SEM的应用：结构象与成分象 SEM的应用：景深的优势 SEM的应用：景深的优势 SEM的应用：成分线扫描 SEM的应用： 断裂断口的分析 SEM的应用： 裂纹扩展过程的实时观察 SEM的应用：  集成电路分析 SEM的最新附件：