河南大学毕业论文.docVIP

目 录 摘 要： 1 0 前言 1 1 MEMS的基础理论 2 1.1 MEMS概述 2 1.2 MEMS的发展历程 3 2 MEMS技术简介 4 2.1 设计与仿真技术 4 2.2 MEMS 的材料选择 5 2.3 MEMS的加工工艺 7 2.4 封装与装配技术 8 2.5 测量与测试技术 8 3 MEMS的应用 8 3.1MEMS在汽车工业中的应用 8 3.2MEMS在通信中的应用 10 3.3MEMS在医学上的应用 10 3.4微型泵的应用 11 3.5 微镜投影仪 12 3.6 MEMS在军事上的应用 12 4 MEMS国内外研究现状 13 4.1国外研究现状 13 4.2 国内研究现状 14 5 MEMS发展应用前景及预测 15 5.1 应用前景 15 5.2 我国MEMS前景预测 17 6 结论 17 参考文献 17 MEMS的发展历程及前景展望 单园园 （河南大学物理与电子学院，河南 开封，475004） 摘 要： MEMS是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域，是面向21世纪的高新科技。MEMS是指集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、各种接口、通信电路和电源等于一体的微型器件或系统。介绍了MEMS的理论基础，综述了MEMS技术基础所涉及的设计与仿真、材料选择、加工工艺、封装与装配、测量与测试等领域，并对MEM