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南台科技大學 機械所 課程名稱: 奈米定位與量測技術 授課老師: 朱志良 博士 報告名稱: 六自由度奈米定位平台 學生基本資料 班級:碩研機械一甲 學號:MA010104 姓名:王贊賓 摘要 近年來隨著各個產業朝向微奈米化科技的發展，不管在材料奈米化技術、半 導體奈米技術、生化醫療技術、或甚至微精密機械加工技術等等各方面，所需求的精度等級由微米等級降為次微米甚至奈米等級，這些技術之所以能實現，最重要的關鍵就是微奈米平台技術的提升。不僅在精度方面有所提昇，在自由度數目方面也都能達到足以滿足在空間中自由運動的六自由度。六自由度微奈米定位平台未來在市場上將佔有不可被取代的地位。此篇文章只要是在介紹六自由度奈米定位平台，，，。 圖二 常見六自由度機構 前言 在精密工程的發展上，微小化與精密化已經成為時勢所趨，在這發展方向的要求下，微米級甚至次微米級的定位系統的需求量與日遽增。而可發展方向有：更高精度、單層結構實現更多自由度等。本文針對前述發展方向進行研究，以多自由度且達到高精度為研究目標。壓電材料由於具有體積小、反應快、機電轉換效率高與生熱少的優點，所以被大量應用在微定位系統的致動器上。現階段在壓電驅動的定位平台的研究上主要有三個方向，一是利用摩擦滯滑的現象，另一是尺蠖蟲形式的致動方式，最後一種則是採行材料變形的方式。前兩種方式的優點在於可以達到長行程的目的，第三種的方式則是有高定位精度的優點。六自由度定義: 在結構力學上，自由度可分為2種，旋轉的自由度及移 動的自由度。在平面中，只有三個自由度，一者為面旋轉（θz），二者為前後（y）及左右（x）兩個移動。在立體中，有六個自由度，三個為前後（y）、上下（z）及左右（x）三個移動和前後（θy）、上下（θz）及左右（θx）三面旋轉。 圖二 六自由度示意圖 (2)機構之微型化: 假如已設計出想要的機構的架構，則必須將架構實體化，由於奈米平台使用形變式的定位方式，所以要用撓性鉸鍊(flexure hinge)來微型化此架構的接點(joint)，如圖三所示，瑞士聯邦科學機構的EPFL組織Eric Pernette 提出了一些典型的撓性鉸鍊接點，其概念為，利用材料剛性的差異來模擬所要接點的特性，而要達成材料剛性的差異是由材料的幾何形狀決定，旋轉接點(revolute joint)其在六個自由度的剛性，只有一個旋轉方向的剛性最小，因此可以符合旋轉接點的特性 由史都華平台可知其接點有滑動接點(prismatic join)與球窩接點(spherical joint)，因此將以如圖四的撓性鉸鍊來替代滑動接點，以圖五的撓性鉸鍊來替代球窩接點。 6-PSS實體模型是使史都華平台機構微小化而建立的一種六自由度定位平台。 圖六 6-PSS實體模型 1：ground、2：積層式壓電致動器放置處、3：prismatic flexure joint、4：spherical flexure joint、5：spherical flexure joint，(1)：固定座，(2)：一對PSS機構，(3)：移動平台 (2) 六自由度微定位平台:下部使用平面串聯式三自由度定位平台，而上面使用圓柱體三自由度定位平台，組合起來使之成為一個六自由度定位平台。 圖七 六自由度微定位平台 (3) A virtual prototype of the proposed micro-manipulator:利用底部平台來驅動裝置於底部上的支架，進而使支架上的平台運動。 圖八 A virtual prototype of the proposed micro-manipulator 本文出六自由度微動平台，機構並研究其運動學特性，採用撓性鉸鍊，經由精密加工將此機構實體化，然後使用壓電致動器驅動。建立參數化之平台實體化模型與有限元素模型，並模擬平台之靜態與動態特性，在考量整體之體積最小，並同時考慮加工可行性等要求設計出最佳之六自由度微定位平台。 [1] G. Pritschow, K. –H. Wurst, “Systematic design of hexapods and other parallel link systems,” CIRP Annals - Manufacturing Technology, vol. 46, no. pp. 291-295, Jan, 1997. [2] Pernette Eric; Henein Simon, Magnani Ivo, Clavel Reymond, “Design of parallel robots in microrobotics,” Robotica, vol. 15,