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电子显微分析 2001年7月 基本内容 1 电镜的结构与成象 2 电镜中的电子衍射及分析 1）斑点花样（原理、实验方法、指数标定及应用） 2）菊池线花样 （原理、指数标定、应用） 3）会聚书束花样 （原理、实验方法、指数标定及应用） 3 电镜显微图象解释 1）复形象 2）衍衬象 3）相位象 4 扫描电子显微术 5 X射线显微分析和俄歇能谱分析 第一章 电镜的结构与成象 1.1 光学显微镜的局限性 1）一个世纪以来，人们一直用光学显微镜来揭示金属材料的显微组织，借以弄清楚组织、成分、性能的内在联系。但光学显微镜的分辨本领有限，对诸如合金中的G.P 区（几十埃）无能为力。 2）最小分辨距离计算公式 其中 ——最小分辨距离 ——波长 ——透镜周围的折射率 ——透镜对物点张角的一半， 称为数值孔径，用 N.A 表示 3) 由于光的衍射，使得由物平面内的点O1 、 O2 在象平面形成一B1 、 B2圆斑（Airy斑）。若O1 、 O2靠的太近，过分重叠，图象就模糊不清。 4）对于光学显微镜，N.A的值均小于1，油浸透镜也只有1.5—1.6，而可见光的波长有限，因此，光学显微镜的分辨本领不能再次提高。 5）提高透镜的分辨本领：增大数值孔径是困难的和有限的，唯有寻找比可见光波长更短的光线才能解决这个问题。 1.3 电子透镜 1）电子可以凭借轴对称的非均匀电场、磁场的力，使其会聚或发散，从而达到成象的目的。 由静电场制成的透镜—— 静电透镜 由磁场制成的透镜 —— 磁透镜 2）磁透镜和静电透镜相比有如下的优点 目前，应用较多的是磁透镜，我们只是分析磁透镜是如何工作的。 ??? 日本日立公司H－700 电子显微镜，配有双倾台 ，并带有7010扫描附件和 EDAX9100能谱。该仪器 不但适合于医学、化学、 微生物等方面的研究，由 于加速电压高，更适合于 金属材料、矿物及高分子 材料的观察与结构分析， 并能配合能谱进行微区成 份分析。 ● ? 分 辨 率：0.34nm● ? 加速电压：75KV－200KV● ? 放大倍数：25万倍● ? 能 谱 仪：EDAX－9100● ? 扫描附件：S7010 　 CM200-FEG场发射枪电镜 JEM-2010透射电镜 加速电压200KVLaB6灯丝点分辨率 1.94? 加速电压20KV、40KV、80KV、 160KV、200KV可连续设置加速电压热场发射枪晶格分辨率 1.4?点分辨率 2.4?最小电子束直径1nm能量分辨率约1ev倾转角度α=±20度?? ?????β=±25度 JEM-2010透射电镜 加速电压200KVLaB6灯丝点分辨率 1.94? EM420透射电子显微镜 加速电压20KV、40KV、60KV、 80KV、100KV、120KV晶格分辨率 2.04?点分辨率 3.4?最小电子束直径约2nm倾转角度α=±60度????? ??β=±30度 Philips CM12透射电镜 加速电压20KV、40KV、60KV、80KV 、100KV、120KVLaB6或W灯丝晶格分辨率 2.04?点分辨率 3.4?最小电子束直径约2nm；倾转角度α=±20度??????? β=±25度 CEISS902电镜 加速电压50KV、80KVW灯丝顶插式样品台能量分辨率1.5ev倾转角度α=±60度???????转动4000 2 1 3 4 4 5 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 16 17 18 19 20 光学显微镜和电镜光路图比较 请看下页 光源 中间象 物镜 试样 聚光镜 目镜 毛玻璃 电子镜 聚光镜 试样 物镜 中间象 投影镜 观察屏 照相底板 照相底板 电镜一般是电子光学系统、真空系统和供电系统三大部分组成。 1 . 电子光学系统 图1-9 是近代大型电子显微镜的剖面示意图，从结构上看，和 光学透镜非常类似。 1）照明部分 （1）阴极：又称灯丝，一般是由0.03~0.1毫米的钨丝作成V 或Y形状。 （2）阳极：加速从阴极发射出的电子。为了安全，一般都是 阳极接地，阴极带有负高压。 （3）控制极：会聚电子束；控制电子束电流大小，调节象的 亮度。 阴极、阳极和控制极决定着电子发射的数目及其动能，因此，人们 习惯上把它们