第5章压电式传感器.ppt

例13：水深测量仪 * * 例14：逆压电效应的应用 声表面波传感器 延迟时间 SAW振子：LC谐振回路 振动频率 * * 本章作业 177页 5-2，5-3，5-7，5-9，5-10，5-14 * * 5.3 压电式元件的结构形式 5．3．1 压电元件的基本变形 从压电常数矩阵可以看出，对能量转换有意义的石英晶体 变形方式有以下几种： 图5-9 压电元件的受力状态和变形方式 (a)厚度变形；(b)长度变形；(c)面剪切变形；(d)厚度剪切变形；(e)体积变形 * * 5.3 压电式元件的结构形式 1．厚度变形(TE方式)，如图5-9(a)所示。这种变形方式就 是石英晶体的纵向压电效应，产生的表面电荷密度或表面电 荷为 或 (5-13) 2．长度变形(LE方式)，如图5-9(b)所示，这是利用石英 晶体的横向压电效应，表面电荷密度或电荷为 或 (5-14) 其中，Sx，Sy—分别为产生电荷面和受力面面积。 3．面剪切变形(FS方式)，如图5-9(c)所示，计算公式为 (对X切晶片) (5-15) 或 (对Y切晶片) (5-16) * * 5.3 压电式元件的结构形式 4．厚度剪切变形(TS方式)，如图5-9(d)所示，计算公式为 (对Y切晶片) (5-17) 5．弯曲变形(BS方式)，它不是基本变形方式，而是拉、 压、切应力共同作用的结果。应根据具体情况选择合适的压 电常数。 6 ．体积变形 (简称VE方式)，对于BaTiO3压电陶瓷，除长 度变形方式(用d31)、厚度变形方式(用d33)和面剪切变形方式 (用d15)以外，还有体积变形方式(简称VE)可以利用，如图5- 9(e)所示。这时产生的表面电荷密度按下式计算 (5-18) 由于此时?x=?y=?z=?，同时对BaTiO3压电陶瓷有d31=d32，则 (5-19) 式中，dV=2d31 + d33为体积压缩的压电常数。这种变形方 式可以用来进行液体或气体压力的测量。 * * 5.3 压电式元件的结构形式 5．3．2 压电元件的结构形式 压电元件一般采用两片或两片以上压电片组合使用。由于 压电元件是有极性的，因此连接方法有两种：并联连接和串 联连接，如图5-10所示。 图5-10 叠式压电片的并联和串联 (a)并联接法；(b)串联接法 * * 5.3 压电式元件的结构形式 ?并联（图5-10(a)）： ?串联（图5-10(b)）： 式中，C、U、Q—单片压电片的输出电容、输出电压和极板 上的总电荷量； 在这两种接法中，并联接法输出电荷量大、电容大、时间 常数大，适宜用在测量慢信号并且以电荷作为输出量的情 况；串联接法输出电压大、电容小，适宜用于以电压作为 输出信号、并且测量电路输入阻抗很高的情况。 * * 5.4 压电式传感器的信号调理电路 5．4．1 压电式传感器的等效电路 压电式传感器可以看作一个电荷发生器，同时，它也是一 个电容器，如图5-12所示，其电容量为 (5-21) 式中，S—压电片极板面积；h—压电片厚度；?r—压电材料 的相对介电常数；?0—空气介电常数，?0＝8. 85×10?12F/m。 两极板间开路电压为 (5-22) 图5-12 压电式传感器等效电路 * * 5.4 压电式传感器的信号调理电路 压电式传感器可以等效为一个与电容并联的电荷源(图5- 12(c))所示；或等效为一个与电容串联的电压源(图5-12(d))。 压电式传感器在测量时要与测量电路相连接，所以实际传 感器需考虑连接电缆电容Cc、放大器输入电阻Ri和输入电容 Ci，以及压电式传感器的泄漏电阻Ra。因此压电传感器的实 际等效电路如图5-13(a)、(b)所示。 图5- 13 压电式传感