第1章 绪 论.ppt

1.4 光电检测方法及应用发展趋势 光电传感器的类型 根据光源、光学系统和光电转换器件放置位置的不同，可分为： 直射型：光电转换器对着光源放置，光轴重合，对于光源为发射光通量最大方向，对于光电器件为灵敏度最高的方向。 反射型：分为单向反射和漫反射 辐射型：被测物体本身为一辐射源，光电检测器通过接收被测物体的辐射光能量实现测量。 光电检测的基本方法 根据检测原理，基本方法： 直接作用法、差动测量法、补偿测量法和脉冲测量法 I、直接作用法：受被测物理量控制的光通量，经光电接收器转换后由检测机构可直接得到所求被测物理量。 被测物理量 光通量 光电传感器 放大、定标 直接读数 光电系统的基本模型 II、差动测量法：利用被测量与某一标准量相比较，所得差或数值比可反应被测量的大小， 放大 相敏检波器 uA C R E U L 调制盘 被测物 光楔 反光镜 Φ2 Φ1 双光路差动测量法测量物体长度 光信息科学与技术系 * 工作原理： Φ1=Φ2时，U=0 Φ O Φ1 Φ2 Φ1 Φ2 t U O t Φ O Φ1 Φ2 Φ1 Φ2 t U O t Φ O Φ1 Φ2 Φ1 Φ2 t U O t Φ1Φ2时，工件尺寸变小 U=S*(Φ1-Φ2)=S*ΔΦ Φ1Φ2时，工件尺寸变大 U=S*(Φ1-Φ2)=-S*ΔΦ 说明：测量值的大小决定了U的幅值，测量值的正负决定于U的相位，可通过相敏检波器得到。 测量值 U的幅值 工件大小 相敏检测器： 核心是由一个乘法器和一个滤波器，如图一路为信号us，另一路为uR。 ui=us=Eisin(ω1t+θ1), uR=ERsin(ω2t+θ2), 滤波器 ui或us u0 uR u0=uiuR=1/2gEiERcos[2π(f1-f2)t+θ1-θ2)- 1/2gEiERcos(2π(f1+f2)t+θ1+θ2] 滤去高频信号后， u0=uiuR=1/2gEiERcos[2π(f1-f2)t+θ1-θ2] 如f1=f2，则u0=1/2gEiERcos(θ1-θ2)=1/2gEiERcosΔθ 特性分析： Δθ=0，则u0输出为正， Δθ=π，则u0输出为负。 相敏检波器用途： 可用来测幅，测相， 还可高频信号变成中频信号（差频信号） 双光路外差检测特点： 双光路可消除杂散光、光源波动、温度变化和电源电压波动带来的测量误差，使测量精度和灵敏度大大提高。 III、补偿测量法： 原理：是用光或电的方法补偿由被测量变化而引起的光通量变化，补偿器的可动元件连接读数装置指示出补偿量值，其大小反应被测量变化大小。 例：由相敏检波器输出控制光楔上下移动，使Φ1-Φ2=0，光楔移动与读数机构相连，读数反映光通量的变化量，即被测值。 放大 相敏检波器 uA C R E U L 调制盘 被测物 光楔 反光镜 Φ2 Φ1 移动控制及读数显示 IV、脉冲测量法： 原理：测量中将被测量的光通量转换成电脉冲，其参数（脉宽，相位，频率，脉冲数量等）反映被测量的大小。 1、脉宽方法测长度： 测量关系式： L=v*t=v*k*N=K*N k---高频脉冲时间当量 K---长度当量 N---计数器值 高频脉冲可取自电动机或转动轮上脉冲，消除不匀速带来的误差。 v n R1 E R2 高频脉冲 N 计数器 2、频率法测速： 在转动轮上均匀贴有反射片，光电传感器可接收与转速相对应的光脉冲，m为反光片数，n为每分钟转速，则：f=n*m/60=N/t； 即转速可以由此得到：n=60N/m*t 控制时间t R E 放大 整形 N 计数 脉冲测量法特点：抗干扰性能好，精度高，直接与计算机相连，易于实现在线测量和自动化控制。 光电检测技术发展趋势 纳米、亚纳米高精度的光电测量新技术。 小型、快速的微型光、机、电检测系统。 非接触、快速在线测量。 微空间三维测量技术和大空间三维测量技术。 闭环控制的光电检测系统，实现光电测量与光电控制一体化。 向人们无法触及的领域发展。 光电跟踪与光电扫描测量技术。 一、在工业生产领域的应用 在线检测：零件尺寸、产品缺陷、装配定位…. 现代工程装备中，检测环节的成本约占50~70% 光电检测技术的应用 检测技术在汽车中的应用日新月异 发动机：向发动机的电子控制单元（ECU）提供发动机的工作状况信息， 对发动机工作状况进行精确控制 温度、压力、位置、转速、流量、气体浓度和爆震传感器等 汽