第6章压电式传感器.ppt

* */26 * 传感器与检测技术 朱启兵 zhuqib@163.com 传感器与检测技术 第六章 压电式传感器 一、压电效应及材料 二、压电方程及压电常数 三、测量电路 四、压电传感器及应用 五、影响压电传感器工作的主要因素 压电式传感器 一、压电效应及材料 某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，内部就产生极化现象，同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷，当外力去掉后，又重新恢复到不带电状态 压电材料受力变形，在表面产生电荷——正压电效应 压电材料通电压，材料变形——逆压电效应 压电效应具有极性 外加作用力从压力变为拉力，介质表面上产生的电荷会改变符号 1. 基本原理 压电式传感器 压电式传感器 2. 压电材料 具有压电效应的材料称为压电材料 常用的压电材料有：压电晶体、压电陶瓷、有机高分子压电材料等。 （1）压电晶体，单晶体，典型的如天然石英晶体等 天然石英晶体的结晶体是一种六角形晶柱，其化学式是SiO2 光轴：纵轴线oz，无压电效应，无折射 电轴：通过六角棱线而与光轴垂直 的轴线ox，垂直此轴压电效应最强。 机轴：垂直于棱面和光轴的轴线oy，在电场作用下变形最大， 从石英晶体内取出一片长方体晶体片 其各棱边与各轴平行 压电式传感器 （2）压电陶瓷 人工制造的多晶体，如钛酸钡、锆钛酸铅(简称PZT)等，使用前需要极化处理。 人造压电材料在高压电场下放置数小时，使内部晶体整齐排列 压电式传感器 3. 压电材料的主要特性参数 压电常数是衡量材料压电效应强弱的参数, 它直接关系到压电输出的灵敏度。 压电材料的弹性常数、 刚度决定着压电器件的固有频率和动态特性。 对于一定形状、 尺寸的压电元件, 其固有电容与介电常数有关; 而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。 在压电效应中,机械耦合系数等于转换输出能量（如电能）与输入的能量（如机械能）之比的平方根; 它是衡量压电材料机电能量转换效率的一个重要参数。 压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄漏, 从而改善压电传感器的低频特性。 压电材料开始丧失压电特性的温度称为居里点温度。  压电式传感器 二、压电方程及压电常数 1.石英晶体的切型 压电式传感器 2.压电方程和压电常数矩阵 压电式传感器 对于X0°切型石英晶体的压电常数矩阵，具体为 压电式传感器 压电式传感器 压电式传感器 三、测量电路 1.压电晶片的连接方式 传感器的电容量大、输出电荷量大、时间常数也大， 适用于测量缓变信号及电荷量输出信号 传感器本身的电容量小、响应快、输出电压大，适用于测量以电压作输出的信号和频率较高的信号。 压电式传感器 2.等效电路 压电元件从功能上是一个电荷发生器 压电元件从性质上讲是一个有源电容器 （a） 电压源; （b） 电荷源 压电式传感器 压电晶体在受力变形后所产生的电荷量极其微弱 压电片本身的内阻很大，压电片输出的功率极为微弱 后续放大电路主要有两个方面的特殊要求： 高灵敏度 高输入阻抗 只有满足这些要求，才能把微弱的电荷信号测量出来 现在采用下列两种形式： 电压放大器 电荷放大器 压电式传感器 3.等效测量电路 压电式传感器 （1）电压放大器 压电式传感器 在理想情况下，传感器的Ra电阻值与前置放大器输入电阻Ri都为无限大，即ω(Ca+Cc+Ci)R1，可知，理想情况下输入电压幅值Uim为 表明前置放大器输入电压Uim与频率无关，一般在ω/ω03时，就可以认为Uim与ω无关，ω0表示测量电路时间常数之倒数，即 这表明压电传感器有很好的高频响应，但是，当作用于压电元件的力为静态力（ω=0）时， 前置放大器的输出电压等于零， 因为电荷会通过放大器输入电阻和传感器本身漏电阻漏掉， 所以压电传感器不能用于静态力的测量。 当电缆长度改变时，Cc也将改变，因而Uim也随之变化。因此，压电传感器与前置放大器之间连接电缆不能随意更换， 否则将引入测量误差。 压电式传感器 （2）电荷放大器 为解决电压放大器中寄生电容的影响，使输出电压仅取决于电荷 ——出现了电荷放大器 引入线路的等效电路如右图所示 先将3个电容Ca，Cc，Ci和已按串并联计算简化折算成一个电容C0，则： 由于运算放大器输入阻抗极高， 放大器输入端几乎没有分流，故可略去Ra和Ri并联电阻。