3.5.1-光电直接检测讲述.pptVIP

3.5.2 光电直接检测系统 辨向原理： 用两个光电元件相距B/4安装（相当于相差90°空间角，B: 2π=B/4: π/2），如图所示，可以解决辨向问题。 当条纹上移时，V2落后于V1 90°。 当条纹下移时，V2超前于V1 90°。 因此，由V1、V2之间的相位关系可以 判别运动方向。 细分技术（解决精度问题） 当使用一个光电池通过判断信号周期的方法进行位移测量时，最小分辨力为1个栅距。为提高测量精度好和分辨力，可减小栅距，即增加刻线密度。另一种方法是在双光电元件的基础上，经信号调节环节对信号进行细分，其电路框图如图所示。 莫尔条纹的应用 莫尔条纹测长仪分长光栅和圆光栅两种，光刻密度相同，通常为25，50，100，250条/mm。被广泛地应用于： 光栅数显表 光栅传感器在位置控制中的应用 轴环式数显表 机械测长和数控机床中。 代表性产品： 德国Heidenhain（海德汉）： 封闭式：量程3000mm，分辨力0.1 ?m 开放式：量程1440mm，分辨力0.01?m 开放式：量程270mm 分辨力1nm 英国Renishaw（雷尼绍）： 量程：任意分辨力： 0.1 ?m 0.01 ?m 中国长春光机所： 量 程：1000mm 分辨力：0.01 ?m * 相干检测， 光源：相干光源 原理：利