电介质材料课件.pptVIP

报告人：涂雅婷 导 师: 邱晓燕 副教授 内 容 第一章 简 介 电介质材料是指电阻率大于 的材料，是相对于金属材料和半导体材料而区分的。 一、电介质材料的分类及应用 绝缘材料：电阻率很高，能承受很强的电场，不易被击穿。主要是高分子电介质和无碱玻璃。 电容器材料：主要是陶瓷材料，包括两种，一种是具有严格温度系数的高频稳定型陶瓷，一种是介电系数特别大的铁电陶瓷。 压电材料：是具有能使机械能和电能相互转换的材料。在实际应用中，主要的压电材料是压电陶瓷，广泛用于情感元件、电声器件等方面。 二、电介质的一般特性 第二章 薄膜的制备工艺 第三章 常规的薄膜性能表征方法 4、二次离子质谱SIMS 1、探针法 金刚石探针沿膜表面移动，而探针在垂直方向上的位移通过电信号可以被放大 倍并被记录下来。从膜的边缘可以直接通过探针针尖所检测的阶梯高度确定膜的厚度。 触针 基片 薄膜 优点：简单，测量直观； 缺点：（1）容易划伤较软的薄膜并引起测量误差； （2）对于表面粗糙的薄膜，并测量误差较大。 如果薄膜的面积A、密度ρ和质量m可以被精确测定的话，由公式 就可以计算出薄膜的厚度d。 缺点：它的精度依赖于薄膜的密度ρ以及面积A的测量精度。 2、称重法 3、光的干涉法 波长为λ