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* * ESD知識介紹 PS1品管：杜生海 序 言 (ELECTROSTATIC DISCHARGE) “靜電放電” 已被認為是造成對靜電放電敏感電子零件的失效、劣化、潛在失效的主要凶手,而導致戰艦、飛機、發射和導引系統、電子和資訊設備出現故障,使得如此昂貴的設備變得毫無可靠度可言。 目 錄 一.靜電系列概念及產生原理 二.靜電對電子工業的危害 三.靜電控制原理 四.靜電標示及其意義 五.如何建立抗靜電的工作站 六.生產現場靜電防護須知 静电的概念 靜電是物體表面過剩或不足的靜止電荷﹒ 1、静电是一种电能，它留存物体表面；静电是正电荷 和负电荷在局部范围内失去平衡的结果；静电是通过电子或离子转移而形成的。 2、静电现象是电荷的产生和消失的过程中产生的电现象的总称。 靜電產生的原理 電子圍繞原子核運動,一有外力即脫離軌道,離開原來的原子而侵入其他的原子﹒ A原子因缺少電子數而帶有正電現象, 稱為陽離子。 B原子因增加電子數而帶有負電現象, 稱為陰離子。 外力包含各种能量, 如動能,位能,熱能,化學能,電磁能等. 1. 接触起電 當兩個不同的物體相互接触時就會使得其中一個物體失去一些電荷带正电，而另一个体得到一些剩余电子的物体而带负电。若在分离的过程中电荷难以中和，电荷就会积累使物体带上静电。 A. 剥离塑料薄膜时就是一种典型的“接触分离”起电B. 脱衣服产生的静电也是“接触分离”起电。 C. 摩擦起电是一种接触又分离的造成正负电荷不平 衡的过程。实质上是接触分离起电。 例 当带电物体接近不带电物体时会在不带电的导体的两端分别感应出负电和正电 2. 感應起电 A B C 3. 热电和压电起电、喷射起电等 气体, 液体的流動與噴射 何謂靜電放電(ESD): Electro-Static Discharge 由不同靜電電位的物體因直接接觸或因靜電場的感應而導致物體間電荷的移動;靜電放電的快速電荷移動會產生很大的瞬間電流.強的電場和電磁輻射等,它們如通過或接近電子零件時,便會加以破壞 通常,放電是電荷迅速流動,在一靜電放電過程中,電荷的迅速流動會引起很大的瞬間電流,強烈的電場和電磁輻射。當放電通過或接近電子零件時,會損毀電子零件。 靜電放電敏感項目(ESDS): 對15.000伏特以下的靜電放電敏感的電氣和電子零件及裝配品和設備;CMOS,NMOS,JFET和其他低功率零件對靜電入電最敏感 具有限制靜電放電電壓低於靜電放電敏感零件的敏感水準的靜電放電保護材料和設備的區域 靜電防電保護區(ESD PROTECTED AREA): 局部處理(TOPICAL INTESTATE): 加在一絕緣材料的表面以降低其摩擦生電的能力的一種化學劑 在一局部的表面上利用對空氣分子充電形成正.負離子來消耗靜電電荷的設備 游離器(IONIZER) 電場屏蔽(FIELD SHIELDING): 利用傳導容器當做靜電和電磁線的障礙物,使被包裝的東西不會感覺到容器表面的電荷 硬接地(HARD GROUND): 將一金屬棒或金屬板埋入地下,使其接地電阻在1.0Ω以內 軟接地(SOFT GROUND) 藉由一電阻(一般為1MΩ)來限制從可評估的電壓源 而來的電流在5mA以下,來隔離一硬接地的任何點. 等位結合,分路 (EQUIPOTENTIAL BONDING,SHUNTING): 一零件或裝配品的零件腳和端子連接在一起后, 通過一低阻抗, 可大大地降低靜電放電的損害 高傳導材料(BULK CONDUCTIVE MATERIAL): 在熱塑性樹脂或其它一般性的絕緣材料內加入 一傳導物質或金屬(一般是碳膜)以降低電阻系數在 傳導范圍內 抗靜電材料(ANTISTATIC MATERIAL): 在一熱塑性樹脂或其它一般性的絕緣材料內加入 一抗靜電物質使它有抗拒摩擦生電的電荷和降低電 阻系數在抗靜電范圍內 靜電對電子工業的危害形式 1、靜電吸附 2、靜電放電引起的器件擊穿 3、靜電感應 4、靜電放電時產生的電磁脈沖 硬擊穿:一次性造成芯片介質擊穿, 燒毀等永久性失效。 軟擊穿:造成器件的性能劣化或參數指標下降而成為隱患。 電磁脈沖導致電路出現錯誤, 設備誤動作。 電子產品生產中的典型靜電源 地板 工作面 主要設備 清潔室 原材料 生產輔助物 包裝材料 身體 衣服 程序 牆壁 天花板 光源固定器 通風架 靜電控制原理 一、靜電泄漏和耗散