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1. 设备名称、技术参数及功能要求： A. 高分辨显微共焦拉曼 - 阴极发光光谱仪 一、技术指标和要求： 1 光谱仪主机 1.1 要求仪器具有高度整体性，主要部件 （显微镜、光谱仪、CCD等 均刚性耦合在 同一主机内，以保证仪器短期及长期稳定性。 1.2 ★要求仪器采用高端长焦长光谱仪，焦长≥500mm。 1.3 要求仪器采用CzernyTurner全反射式单级光谱仪。 1.4 ★采用针孔共焦技术（三维空间滤波 ，非狭缝共焦（二维空间滤波 。 2 光谱仪技术参数 -1 -1 -1 -1 2.1 拉曼频移范围：50cm -9000cm （532nm激发 ，100cm -5600cm （660nm激发 ， -1 -1 -1 -1 50cm -3200cm （785nm激发 ，200cm -16000cm （325nm激发 。 2.2 PL光谱范围：540-1050nm（532nm激发 ；670nm-1050nm （660nm激发 ,790 nm-1050nm （785nm激发 ； 330-700nm （325nm激发 。 2.3 ★光谱分辨率： -1 ≤0.4cm （测试条件：采用氖灯837nm半高宽，≤1800光栅，≥30um狭缝宽度 。 -1 ≤0.7cm （测试条件：采用氖灯585nm半高宽，≤1800光栅，≥30um狭缝宽度 。 2.4 灵敏度：硅三阶峰的信噪比好于20:1，并能观察到四阶峰。（测试条件：测量Si （111）三阶峰，采用532nm激光，积分时间300s 。 -1 2.5 ★光谱重复性：优于 0.03cm 。（测试条件：采用532nm激发，20次测量Si520cm-1 拉曼峰 。 2.6 光栅：采用等离子刻蚀全息技术，高效率低杂散光，配置两块光栅覆盖全谱段。 2.7 光谱仪平场校正，焦平面大于30mm，一次光谱覆盖整个CCD区域，1英寸CCD 芯片，无边缘畸变。 2.8 非球面大尺寸反射镜，消象散色差，软件控制自动切换激发波长，光谱仪内无透 镜，无需重新调整仪器。 3 共聚焦开放式显微镜 3.1 采用开放式设计，显微镜底座可拆卸可调节。 3.2 聚焦样品通过聚焦物镜，不调样品台，适合催化等原位样品台或大尺寸样品。 4 探测器 4.1 TE制冷开放电极式CCD探测器。 4.2 像元数量≥1024像素。 4.3 成像区域：横向≥26.6mm，100%覆盖。 4.4 量子效率： 55%(峰值)。 4.5 暗噪声（典型值 ：≤0.0031e-/pixel/s （20um像素相对值 。 5 共聚焦显微镜 5.1 透射和反射白光照明。 5.2 软件控制自动白光照明和拉曼测量切换。 5.3 平场消色差物镜：10X，100X，50X长焦 （工作距离≥10mm ，15X和40X紫外 物镜。 5.4 ★内置机械共聚焦针孔，非狭缝虚拟，保证三维空间滤波。 5.5 针孔调节范围：10-1000um连续可调。 5.6 空间分辨率：横向优于0.5um，纵向优于2um。 6 激光器 6.1 532nm单频连续固体激光器，功率不低于300mW。 6.2 532nmEdge滤光片，2片，软件控制调节滤光片角度。 -1 6.3 532nmNotch超低波数滤光片，可测量正反Stocks，低波数测量到10cm 。 6.4 660nm 固体激光器，功率不低于100mW。 6.5 660nmEdge滤光片，2片，软件控制调节滤光片角度。 6.6 785nm 固体激光器，功率不低于100mW。 6.7 785nmEdge滤光片，2片，软件控制